गीली सतहों पर, धोने की प्रक्रिया के दौरान ही उत्पादन में कमी आ जाती है। क्या धोने एवं सुखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान असमान है? ऐसी स्थिति में पानी के निशान, चिपके हुए कण, एवं नियंत्रण से बाहर की समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। इसके लिए आवश्यक है कि उपयोग में आने वाली ऊष्मा एकसमान, स्थिर एवं स्वच्छ हो।
इन्फ्रारेड हीटिंग की सटीकता: उप-मिलीमीटर स्तर पर एकसमानता एवं दोहरावीयता
हम ऐसे इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, जो उप-मिलीमीटर स्तर पर एकसमान तापीय क्षेत्र उत्पन्न करते हैं। इससे वेफर का तापमान हर बार वांछित स्तर पर ही रहता है। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंप तेजी से गर्मी प्रदान करते हैं, जिससे वेफर जल्दी ही ठंडा हो जाता है। इसके परिणामस्वरूप वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं एक ही प्रक्रिया को बार-बार दोहराने पर भी एकसमानता बनी रहती है।
रिन्सिंग स्टेशन में इसकी प्रभावशीलता
रिन्सिंग की प्रक्रिया में ऊष्मा प्रदान करने हेतु आवश्यक है कि वह एकसमान, सटीक एवं क्लास 1–100 के स्वच्छ कमरों में ही कार्य करे। ऐसे लैंपों से कोई कण निकलते नहीं हैं, एवं उनका वॉटरप्रूफ कवर उच्च दबाव वाले पानी एवं रासायनिक पदार्थों को भी सहन कर सकता है। ऐसे लैंपों के कारण प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। इससे फिर से काम करने की आवश्यकता भी कम हो जाती है, एवं वेफर की संरचना भी बरकरार रहती है।
स्थापना एवं संचालन संबंधी निर्देश
लैंप की स्थापना के दौरान सटीकता आवश्यक है। यदि आप वेफर पर एकसमान गर्मी प्रदान करना चाहते हैं, तो लैंप की किरणों को वेफर की सतह के साथ ±0.5 मिमी के भीतर ही रखें। ये लैंप डीआयनाइज्ड पानी एवं मानक रासायनिक पदार्थों के लिए ही उपयुक्त हैं; लेकिन क्लोराइड-युक्त या अत्यधिक आक्रामक रासायनिक पदार्थों के लिए अतिरिक्त जाँच आवश्यक है। लैंप की तीव्रता एवं तापमान संबंधी जाँचें नियमित रूप से की जानी चाहिए; क्योंकि समय के साथ सेंसरों में त्रुटियाँ आ सकती हैं, जिससे एकसमानता प्रभावित हो सकती है।