फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि स्थिति कैसी होती है। फोटोरेजिस्ट के तापमान में थोड़ा सा भी परिवर्तन होने से महत्वपूर्ण मापदंड बिगड़ सकते हैं, जिससे पूरा उत्पादन बर्बाद हो सकता है। वेफर का तापीय नियंत्रण कोई साधारण पैरामीटर नहीं है; यह तो उत्पादन की गुणवत्ता एवं बर्बादी के बीच की रेखा है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड क्वार्ट्ज लैम्पें विकसित की हैं, जो आवश्यक स्थानों पर ही ऊर्जा प्रदान करती हैं।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात यह है कि ये लैम्प उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से उत्पन्न शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं, ताकि ऊर्जा सीधे लक्षित स्थान पर ही पहुँच सके। कम थर्मल इनर्शिया के कारण प्रतिक्रिया तेज होती है। वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; इससे घोल समान रूप से वितरित होता है, एवं फोटोरेजिस्ट भी सही ढंग से सेट होता है। 5,000+ घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तापीय मान भी स्थिर ही रहता है। क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में, कम कणों वाली संरचना एवं सील्ड एनवेलपमेंट के कारण गैस निकलने एवं संदूषण को नियंत्रित किया जा सकता है।
यही कारण है कि ये लैम्प लिथोग्राफी एवं एचचिंग प्रक्रियाओं में उपयोगी हैं। ये लैम्प “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों प्रक्रियाओं में उपयोग में आ सकते हैं, एवं इनकी सटीकता बहुत अधिक है। इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। तेज गति से तापमान बढ़ने से बेकिंग समय कम हो जाता है; इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं अत्यधिक तापमान से होने वाली समस्याएँ भी कम हो जाती हैं। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा सीधे लक्षित स्थान पर ही जाती है। इससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई अप्रत्याशित समस्याएँ नहीं आतीं। फिलामेंट की संरचना मजबूत है, एवं रखरखाव की आवश्यकताएँ भी पूर्वानुमेय हैं; इससे उत्पादन लगातार जारी रहता है।
कुछ व्यावहारिक बातें… इन लैम्पों की स्थापना में रिफ्लेक्टरों का सही विस्थापन एवं शीतलन हवा का प्रवाह बहुत महत्वपूर्ण है। यदि ये ठीक न हों, तो स्थानीय रूप से तापमान बढ़ जाता है, एवं समानता भी बिगड़ जाती है। ये लैम्प अधिकांश मानक चक्कों एवं उपकरणों के साथ काम कर सकते हैं; लेकिन यदि आप इन्हें पुराने उपकरणों में इस्तेमाल कर रहे हैं, तो थर्मल इंटरफेस पर थोड़ा सा समायोजन आवश्यक होगा। लंबे समय तक उत्पादन करने हेतु, नियमित रूप से कैलिब्रेशन जरूरी है, ताकि ±0.1°C का मान बना रहे।