उस फ्लेक्सिबल इलेक्ट्रॉनिक्स वेफर को अभी “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से गुजरना है; ताकि उसकी रेखाओं की मोटाई नियंत्रित की जा सके। तापमान में कुछ ही डिग्री का बदलाव भी फोटोरेसिस्ट की संरचना को प्रभावित कर सकता है, जिससे उत्पाद में दोष पैदा हो सकते हैं। हमने ऐसा ही एक हीटर विकसित किया है, ताकि इस तरह की अनियमितताओं को दूर किया जा सके।
प्रक्रिया के दौरान क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन स्रोत का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा का उपयोग करते हैं, एवं बंद-लूप नियंत्रण के द्वारा वेफर के सतही क्षेत्र में तापमान को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं। प्रत्येक बार ऊर्जा देने पर तापमान ±0.05°C के भीतर ही रहता है; इससे हर बार वेफर की संरचना समान ही रहती है। हॉट ज़ोन को क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए ही डिज़ाइन किया गया है; सतही संरचना एवं सामग्रियाँ ऐसी ही हैं कि स्थिर संचालन के दौरान कोई कण न उत्पन्न हो। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं को बहुत ही सटीक तरीके से नियंत्रित किया जाता है, एवं प्रणाली हर बार की प्रक्रिया का रिकॉर्ड रखती है।
यह फ्लेक्सिबल इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए क्यों उपयुक्त है?
ये सब्सट्रेट पतले, हल्के एवं संवेदनशील होते हैं। स्थिर एवं समान तापमान से ही फोटोरेसिस्ट की मोटाई नियंत्रित की जा सकती है, जिससे लिथोग्राफी प्रक्रिया में कम दोष होते हैं। त्वरित तापमान नियंत्रण से अनावश्यक समय की बचत होती है, जिससे उत्पादन समय कम हो जाता है। ऊर्जा की मात्रा, वेफर की ऊष्मा-क्षमता के अनुसार ही निर्धारित की जाती है; इससे प्रति वेफर की लागत कम हो जाती है। वास्तव में, विश्वसनीयता का अर्थ है निरंतर संचालन – कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं, एवं कोई रखरखाव की आवश्यकता भी नहीं।
इसे सही तरीके से चलाने हेतु क्या आवश्यक है?
हीटर को स्वच्छ एवं सूखी ऊर्जा-आपूर्ति एवं उचित वेंटिलेशन व्यवस्था की आवश्यकता है; ताकि लैंप का आउटपुट स्थिर रहे एवं तापमान भी सुरक्षित रहे। यह मानक कनेक्टरों एवं इंटरफेसों के साथ काम करता है; लेकिन यदि इसे पुराने प्लेटफॉर्म पर इस्तेमाल किया जाए, तो थोड़ा मैकेनिकल/विद्युत सुधार आवश्यक होगा। ऐसा सुधार नियोजित रखरखाव के दौरान ही किया जाना चाहिए – उत्पादन पर इसकी लागत नहीं आनी चाहिए।