फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में होने वाला तापीय परिवर्तन, न केवल उत्पादन दर पर असर डालता है, बल्कि उत्पादन की गुणवत्ता पर भी बुरा प्रभाव डालता है। ऐसी स्थिति में, ऊष्मा को ठीक उसी स्थान पर ही दिया जाना आवश्यक है, जहाँ प्रक्रिया के लिए आवश्यक है – चाहे वह कितने भी चक्र हों।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे इपिटैक्सी हीटिंग इंफ्रारेड लैंप, तेज गति से ऊष्मा प्रदान करते हैं, एवं इसका नियंत्रण भी बेहतरीन है। शॉर्ट-वेव इंफ्रारेड किरणें पतली फिल्मों एवं वेफर की सतह में प्रभावी ढंग से प्रवेश करती हैं; इससे तुरंत प्रतिक्रिया मिलती है, एवं वेफर का तापमान भी तुरंत कम हो जाता है। प्रकाशित क्षेत्र में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं हजारों चक्रों के बाद भी यह स्थिर ही रहता है।
लैंप का डिज़ाइन क्लास 1–100 वाले स्वच्छ कमरों के लिए उपयुक्त है; इसमें कम गैस निकलने वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, एवं ऐसा डिज़ाइन है जिससे कोई कण न निकलें। 5,000+ घंटों तक लैंप का आउटपुट स्थिर ही रहता है, एवं इसमें 5% से भी कम कमी आती है… इससे तापीय संतुलन बना रहता है।
यह यहाँ क्यों कारगर है?
वेफर को सुखाने, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने, पैकेजिंग प्रक्रिया में, एवं सफाई के बाद वेफर को सुखाने की प्रक्रिया में भी ऐसी ही आवश्यकताएँ हैं – अर्थात् तेज एवं स्थिर ऊष्मा। ये लैंप तेजी से लक्ष्य तापमान तक पहुँच जाते हैं, वहाँ ही रहते हैं, एवं फिर बिना किसी अतिरिक्त ऊष्मा के ही कार्य बंद कर देते हैं… इससे पैटर्नों एवं फिल्मों पर तापीय दबाव कम हो जाता है।
लाभ क्या हैं?
लिथोग्राफी में उत्पादन दर बेहतर हो जाती है, अपूर्ण प्रक्रियाओं के कारण होने वाला नुकसान कम हो जाता है, एवं चक्रों का समय भी कम हो जाता है… ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा केवल आवश्यकता के हिसाब से ही दी जाती है।
ध्यान देने योग्य बातें:
ये लैंप छोटे एवं उच्च-शक्ति वाले हैं… इसलिए फिक्स्चर के इंटरफेस पर तापीय प्रबंधन आवश्यक है। लैंप के डिज़ाइन को उपकरण के आकार के अनुरूप ही बनाना आवश्यक है… ऑप्टिकल अलाइनमेंट की भी जाँच करनी आवश्यक है… एवं पावर सप्लाई एवं कूलिंग सिस्टम को भी उचित रखना आवश्यक है।
स्थापना के बाद क्या होता है?
स्थापना के बाद थोड़ा समय लगता है… जब यह स्थिर हो जाता है, तो प्रक्रिया शुरू हो जाती है… एवं ऐसी ही स्थिति बनी रहती है।