फैब फ्लोर पर, वेफर पर 0.1°C का तापमान-परिवर्तन ही उसके महत्वपूर्ण आयामों में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है; इसके कारण कणों की संख्या भी बढ़ जाती है। सामान्य हीटप्लेटों एवं कन्वेक्शन ओवनों में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान-समानता बनाए रखना मुश्किल होता है… ऐसी स्थिति में गैसें बाहर निकल जाती हैं, या रेजिस्ट सतह पर समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। यही कारण है कि नियर-इन्फ्रारेड (NIR) वेफर ड्रायर विकसित किया गया – ताकि इन समस्याओं का समाधान हो सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
NIR, चैंबर को नहीं, बल्कि सीधे वेफर को ही गर्म करता है। इससे 300 मिमी क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर समान रहता है; प्रतिक्रिया समय भी कम होता है, एवं तापमान-नियंत्रण भी बेहतर होता है। फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता हर बार समान रहती है, एवं बैच-आकार बदलने पर भी बेकिंग प्रक्रिया स्थिर रहती है। यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ही डिज़ाइन किया गया है… संपर्क-बिंदु पर कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं वेंटिलेशन प्रणाली से प्रक्रिया-क्षेत्र में कोई प्रदूषक नहीं जा पाता। इसकी विश्वसनीयता 24/7 संचालन में ही मापी जाती है… बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के। हीटर की आयु भी आम तिमाही-चक्र से कहीं अधिक होती है।
लिथोग्राफी में इसका उपयोग क्यों होता है?
विलायकों को ठीक से निकालने हेतु सुसंगत सॉफ्ट बेक आवश्यक है… एवं रेजिस्ट को सही ढंग से सेट करने हेतु पूर्वानुमेय हार्ड बेक आवश्यक है। NIR, ऐसी सुसंगतता प्रदान करता है… तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है, चक्र-समय कम हो जाता है, एवं प्रति वेफर ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है। इसका लाभ यह है कि पुनर्कार्य कम हो जाता है, CD-नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं तापमान-असमानता के कारण होने वाला अपशिष्ट भी कम हो जाता है। यह उन उन्नत लिथोग्राफी-प्रक्रियाओं में भी उपयोगी है, जहाँ तापमान-सीमाएँ बहुत ही कम होती हैं… और हर डिग्री महत्वपूर्ण होती है।
खरीदने से पहले कुछ व्यावहारिक बातें…
NIR को वेफर तक सीधी दृष्टि आवश्यक है… एवं तापमान-नियंत्रण हेतु उचित परावर्तन-पथ भी आवश्यक है। इसलिए, वेफर-हैंडलिंग प्रणाली को ध्यान में रखना आवश्यक है… खासकर उन मल्टी-स्टैक व्यवस्थाओं को, जो बीम को अवरुद्ध कर सकती हैं। इसके अलावा, स्पेक्ट्रल-स्थिरता हेतु शुद्ध ऊर्जा एवं नियंत्रित वोल्टेज-विचलन भी आवश्यक है। जब ये सभी शर्तें पूरी हो जाती हैं, तो ड्रायर एक “सेट-एंड-फॉरगेट” तापीय-प्रणाली के रूप में काम करता है… लेकिन शुरुआती व्यवस्था को ठीक से करना आवश्यक है… इस चरण को छोड़ना असंभव है।