वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में क्वार्ट्ज ट्यूबों में होने वाली समस्याओं को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, जब वेफर निर्माण प्रक्रिया में इंफ्रारेड लैंप फट जाता है, तो यह केवल “रखरखाव संबंधी समस्या” नहीं होती… यह तो एक भयावह स्थिति है।
काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस वेफरों पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरी बैच का नुकसान हो जाता है। इसीलिए हम अपने डिजिटल आईआर नियंत्रकों एवं लैंपों की गुणवत्ता पर बहुत ध्यान देते हैं… हम चाहते हैं कि ऐसी स्थितियाँ कभी न हों।
चीजों को ठंडा एवं सुरक्षित रखना
अक्सर, ट्यूबें थर्मल शॉक या कुछ अन्य कारणों से खराब हो जाती हैं… इस समस्या को दूर करने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज एवं बहुत ही सटीक तरीके से बनाए गए फिलामेंटों का उपयोग करते हैं… इससे गर्मी समान रूप से फैलती है।
लेकिन हार्डवेयर ही सब कुछ नहीं है… आप तो स्विच चालू करते ही उच्च-वॉटेज वाले लैंपों को 100% शक्ति पर चला नहीं सकते… यदि फिलामेंट का विस्तार क्वार्ट्ज की क्षमता से अधिक हो जाता है, तो ट्यूब टूट जाती है… बस इतना ही।
इसीलिए हम PID लूपों का उपयोग करते हैं… हमारे नियंत्रक, वास्तविक समय में होने वाली घटनाओं के आधार पर ही ऊर्जा को नियंत्रित करते हैं… यह तो चीजों को गर्म करने का एक बहुत ही सुरक्षित तरीका है।
गंदगी को रोकना
बेहतरीन नियंत्रणों के बावजूद भी दुर्घटनाएँ हो जाती हैं… इसलिए हमने एक सुरक्षा उपाय भी अपनाया है… हम लैंपों को मजबूत क्वार्ट्ज सॉकेटों/विशेष कवरों में रखते हैं… ऐसा करने से, यदि ट्यूब टूट जाती है, तो उसके टुकड़े वेफरों तक नहीं पहुँच पाते…
हम कनेक्टरों पर भी बहुत ध्यान देते हैं… यदि कनेक्टर उच्च-करंट लोड के लिए उपयुक्त न हों, तो वे खराब हो जाते हैं… ऐसी स्थिति में वोल्टेज में कमी आ जाती है, एवं गर्मी भी असमान रूप से वितरित होती है… इससे क्वार्ट्ज पर दबाव पड़ता है… हम यह सुनिश्चित करते हैं कि कनेक्शन बहुत ही मजबूत हों।
उच्च तापमान की वास्तविकता
यहीं पर समस्या है… तेज़ गति से वेफरों को सुखाने हेतु उच्च तापमान आवश्यक है… लेकिन ऐसा करने से क्वार्ट्ज पर बहुत ही दबाव पड़ता है…
यदि आप ऐसे लैंपों को उच्च-वॉटेज पर चलाते हैं, तो आपके कूलिंग फैनों को भी उसी अनुपात में काम करना होगा… यदि लैंपों के अंत तक पर्याप्त हवा न पहुँचे, तो वहाँ गर्मी जमा हो जाती है… ऐसी स्थिति में ही लीकेज होने लगते हैं…
अपने लैंपों की वॉटेज के अनुसार ही हवा के प्रवाह की जाँच अवश्य करें… यह तो एक छोटी सी बात है, लेकिन यही तो सफलता एवं विफलता के बीच का अंतर है।