تنظیم دقیق دمای ویفرها در کارخانههای هوشمند
اگر قصد ساخت یک کارخانه هوشمند را دارید، احتمالاً متوجه شدهاید که انتظار برای تعمیر چیزی تا زمانی که خراب شود، یک کابوس است. شما باید بتوانید آنچه در حال حاضر اتفاق میافتد را مشاهده کنید. اینجاست که سیستمهای مادون قرمز وارد عمل میشوند. ما از آنها استفاده میکنیم؛ زیرا به ما امکان میدهند تا دمای سطح ویفر را بدون لمس آن، تعیین کنیم. بدون تماس فیزیکی، بدون آلودگی… ساده است.
چرا بدون تماس فیزیکی اهمیت دارد؟
به روش قدیمی فکر کنید؛ استفاده از ترموکپلها. آنها باید با سطح ویفر در تماس باشند، که این کار مشکلات زیادی را به همراه دارد. شما در معرض خطر استرس مکانیکی هستید؛ یا حتی احتمال افتادن ذرات روی سطح ویفر وجود دارد.
اما با استفاده از سیستمهای مادون قرمز، ما فقط میتوانیم تشعشعات حرارتی ساطع شده از ویفر را مشاهده کنیم. این روش پاکتر است. این سنسورها سیگنالهایی تولید میکنند که مستقیماً به سیستم PLC یا SCADA شما منتقل میشوند. در نتیجه، شما یک نقشه حرارتی واقعی در اختیار دارید. این تنها روش واقعی برای شناسایی نقاط سرد در حین فرآیندهای حرارتی سریع است.
تبدیل دادهها به اطلاعات مفید
خود سنسور، فقط یک قطعه سختافزاری است. جادوی واقعی در نحوه اتصال آن به سیستمهای داده نهفته است.
ما این سیستمهای مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که در محیطهای پر از نویز نیز کار کنند. ما میدانیم که ابزارهای الکتروشیمیایی میتوانند سیگنالها را مختل کنند؛ اما وقتی که انرژی حرارتی به دادههای دیجیتال تبدیل شود، میتوانید یک چرخه بازخورد فعال ایجاد کنید. اگر دما حتی ۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، سیستم آن را تشخیص داده و بلافاصله منبع تغذیه را تنظیم میکند. شما حتی نیازی به انجام کاری ندارید.
واقعیتها
البته، همه چیز کامل نیست. برخی محدودیتها وجود دارد.
سنسورهای مادون قرمز نسبت به میزان تشعشعات حرارتی حساس هستند. اگر روکش ویفر تغییر کند یا گازهای موجود در محفظه شروع به حرکت کنند، مقادیر اندازهگیری شده تغییر خواهد کرد. شما باید وقتی را صرف تنظیمات نرمافزاری کنید؛ در غیر این صورت، با دادههای نادرست روبرو خواهید شد.
یک نکته دیگر: پنجرههای مربوط به سنسورها را تمیز نگه دارید. اگر چربیها روی پنجرهها تجمع کنند، سیگنالها مسدود خواهند شد. در این صورت، پروفایل حرارتی شما دچار اختلال خواهد شد. پنجرهها را تمیز نگه دارید، تا همه چیز به خوبی کار کند.