در کارخانههای تولید ویفرها، تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای پخت فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ضخامت خطوط روی ویفر شود. چرخه خشککردن ناهمگن؟ این همان چیزی است که باعث ایجاد مشکلاتی در بازدهی تولید میشود. ما از سیستم گرمایش منطقهای در کارخانههای پیشرفته تولید ویفرها استفاده میکنیم تا این تغییرات را از همان ابتدا کنترل کنیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما از سیستم کنترل منطقهای مستقل، با استفاده از هالوژن یا نور مادون قرمز، برای کنترل دما استفاده میکنیم؛ همچنین، یکنواختی دما در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم. تجهیزات مورد استفاده در اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ قرار دارند و هیچ ذرهای وارد آنها نمیشود؛ این موضوع از طریق نظارت لحظهای و استفاده از موادی با میزان گاز خروجی کم، تأیید میشود.
قابلیت تکرارپذیری کار نیز حفظ میشود؛ زیرا سنسورهای حلقه بسته و سیستمهای کنترل، دمای محیط را ثابت نگه میدارند. در نتیجه، فرآیندهای پخت و خشککردن به طور یکنواخت انجام میشوند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا فقط بخشهایی که نیاز به گرما دارند، گرم میشوند.
چرا این روش مهم است: در فرآیند لیتوگرافی، سیستم گرمایش منطقهای باعث میشود دمای پخت فوتورزیست کنترل شود؛ در نتیجه، چسبندگی و پروفایل لایههای روی ویفر ثابت میماند.
در فرآیندهای تمیزکردن و خشککردن ویفرها، سیستم کنترل منطقهای باعث میشود که تارهای اضافی و نشانههای ناخواسته از بین بروند؛ در نتیجه، خشککردن ویفرها سریعتر انجام میشود، بدون ایجاد شوک حرارتی.
در فرآیند بستهبندی نیز، این روش باعث میشود که فرآیندهای خشککردن به طور یکنواخت انجام شود؛ در نتیجه، زمان تولید کاهش مییابد و کنترل چسبندگی و عدم وجود حفرهها نیز حفظ میشود. در نتیجه، مقدار مواد باکیفیت تولید شده افزایش مییابد و کنترل کیفیت نیز بهتر میشود.
آنچه باید از قبل بدانید: برای استفاده از سیستم گرمایش منطقهای در کارخانههای موجود، باید هندسه اتاقهای تولید، تجهیزات مورد استفاده و سیستمهای تخلیه گاز، با یکدیگر سازگار باشند. باید برای این کار زمان کافی در نظر گرفته شود.
شما برای استفاده از سیستمهای کنترل منطقهای، فضای کمی را فدا خواهید کرد؛ اما در عوض، کنترل حرارتی بهتری خواهید داشت و زمان تولید نیز افزایش خواهد یافت.