در این فرآیند، ویفر الکترونیکی انعطافپذیر در حالت آمادهباش است تا پس از گرمایش مناسب، کنترل ضخامت لبههای خطوط روی سطح آن ممکن شود. تغییرات دمایی کمتر از چند دهم درجه نیز میتواند باعث تغییر در پروفایل فوتورزیست شود؛ در نتیجه، محصول نهایی دارای نقصهای پنهانی خواهد بود. ما هیتر مخصوص ویفرهای الکترونیکی انعطافپذیر را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از منبع مادونقرمز با طول موج کوتاه و سیستم کنترل حلقه بسته استفاده میکنیم تا یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در حد ±۰٫۱ درجه حفظ کنیم. تکرارپذیری عملیات گرمایش نیز در حد ±۰٫۰۵ درجه است؛ بنابراین هر بار گرمایش، نتیجه یکسانی خواهد داشت. منطقه گرمایشی این دستگاه برای اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ سطح و مواد مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که در حین کار، تولید هیچ ذرهای رخ ندهد. پروفایلهای گرمایشی نرم و سخت نیز با کنترل دقیق دما اجرا میشوند؛ همچنین، سیستم تمام جزئیات عملیات را ثبت میکند تا بتوان از آن برای ردیابی استفاده کرد.
چرا این روش برای الکترونیک انعطافپذیر مناسب است؟
این سطوح، نازک، کمحرارت و حساس هستند؛ لذا گرمایش یکنواخت میتواند باعث ایجاد ضخامت یکنواخت فوتورزیست، کنترل دقیقتر ابعاد مهم، و کاهش تعداد عملیات تکراری در فرآیند لیتوگرافی شود. سرعت گرمایش نیز باعث کاهش زمان انتظار میشود؛ در نتیجه، زمان کلی فرآیند کاهش مییابد، در حالی که کیفیت محصول حفظ میشود. میزان مصرف انرژی نیز متناسب با حجم حرارتی ویفر است؛ این امر باعث کاهش هزینههای عملیاتی برای هر ویفر میشود. در عمل، قابلیت اطمینان این دستگاه به معنای بدون وقفه کاری و بدون نیاز به تعمیرات غیرمنتظره است.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این دستگاه لازم است؟
هیتر نیاز به منبع تغذیه تمیز و خشک، و همچنین مسیر تخلیه گاز مناسبی دارد تا خروجی لامپ پایدار بماند و دما در حد مطلوب باقی بماند. این دستگاه با رابطها و سیستمهای استاندارد نیز کار میکند؛ اما اگر قرار است آن را در یک سیستم قدیمی استفاده کنید، باید تغییرات مکانیکی و الکتریکی لازم را انجام دهید. این تغییرات را باید در زمان تعمیرات برنامهریزیشده انجام دهید؛ تولید نباید هزینه این تغییرات را بپردازد.