چگونه فرآیند خشک کردن ویفرها را به درستی انجام دهیم: همه چیز به بازتاب نور بستگی دارد
وقتی که مشغول خشک کردن ویفرها هستید، در واقع فقط در حال گرم کردن آنها نیستید؛ بلکه در واقع در حال کنترل جریان فوتونها هستید.
مشکل اینجاست: وقتی که یک لامپ با توان بالا را روشن میکنید، مقدار زیادی از انرژی مادون قرمز به سمت عقب، یعنی دور از سطح ویفر، فرستاده میشود. اگر استفاده از منعکسکننده مناسبی نکنید، تمام آن انرژی در هوا از بین میرود. این امر باعث میشود فضای کاری شما مانند یک فر درآید، سیستمهای خنککننده شما دچار مشکل شوند، و هزینههای برقی شما نیز افزایش یابد. این یک هدررفت انرژی است.
چرا از منعکسکنندههای طلا استفاده میکنیم؟
شاید بپرسید چرا از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم، در حالی که میتوانیم از مواد ارزانتری مانند آلومینیوم استفاده کنیم. دلیل آن، فیزیک نور است؛ طلا در بازتاب پرتوهای مادون قرمز با طول موج طولانی و متوسط عملکرد بهتری دارد.
آلومینیوم مقدار زیادی از انرژی نور را جذب میکند؛ اما طلا چنین نیست. طلا باعث میشود تقریباً تمام انرژی تولید شده توسط لامپ به سطح ویفر برسد.
اما پوشش طلا تنها نیمی از مشکلات را حل میکند؛ ما زمان زیادی را صرف تنظیم شکل منعکسکننده میکنیم. اگر اندازههای منعکسکننده را به درستی تنظیم کنید، میتوانید منبع نور نامنظم را به یک پرتو نور متمرکز تبدیل کنید. در این صورت، گرمای بیشتری به ویفر منتقل میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ تا سطوح خطرناک باشد.
بخش پیچیده
اینجاست که مشکلات شروع میشوند؛ تنظیم منعکسکننده با اندازه لامپ کار دشواری است.
اگر نقطه کانونی لامپ حتی چند میلیمتر از جای خود منحرف شود، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. این تغییرات دمایی میتواند باعث تغییر شکل ویفر یا ایجاد ناهمواریهایی در فرآیند خشک کردن شود. این موضوع ناامیدکننده و پرهزینه است.
همچنین، طلا نیاز به مراقبت ویژه دارد؛ کمی گرد و غبار یا اثر انگشت میتواند همه چیز را خراب کند. روغن روی سطح نیز میتواند باعث گرمایش بیش از حد شود و در نهایت باعث از بین رفتن پوشش طلا شود. اگر میخواهید این منعکسکنندهها ماندگار بمانند، باید آنها را در محیطهای بسته یا اتاقهای تمیز نگه دارید.
چه تأثیری بر فرآیند کاری شما دارد؟
وقتی که این سیستم به درستی کار کند، متوجه تفاوت خواهید شد؛ دمای مورد نظر را سریعتر به دست خواهید آورد. همچنین، چون انرژی به خوبی متمرکز میشود، میتوانید ولتاژ لامپ را کاهش دهید و باز هم گرمای لازم را به سطح ویفر منتقل کنید. این موضوع برای تجهیزات شما بسیار مفید است؛ فیلامنتهای لامپ نیز کمتر تحت فشار قرار میگیرند، بنابراین کمتر خراب میشوند.
کمترین وقفه در کار، کمترین هدررفت انرژی… فقط یک فرآیند که واقعاً به درستی کار میکند.