
在污染发生之前加以阻止
在生物传感器制造过程中,如果有一盏灯出现故障,那可不仅仅是麻烦事,而是一场灾难。一旦有灯失效,那么该处理室中的所有晶圆都会变得无法使用。
当需要承受高负荷的加热过程时,石英管会因为热应力而受到损伤。如果石英管破裂,玻璃碎片和卤素气体就会溅到晶圆上。我们特意设计了这种红外灯,就是为了避免这种情况的发生。
防止污物进入
我们使用了经过强化的石英材料,这样才能承受剧烈的温度变化。不过,我们并没有就此止步。我们还为这些灯添加了保护套——相当于一种安全网。这样一来,即使灯丝断裂或石英管破裂,碎片也会被截留在保护套内,不会掉落到晶圆上,从而确保晶圆的质量不受影响。就是这么简单。
应对高温问题
在高负荷生产过程中,很容易出现“热点”现象。如果玻璃过热,它就会软化。为了解决这个问题,我们会让整个灯管的功率分布更加均匀,从而避免出现危险的温度峰值。此外,我们还使用精确控制的电极来保持电弧的稳定性。
不过需要注意的是,如果一直让这些灯处于极限工作状态,石英管很快就会损坏。这是物理规律决定的。因此,要定期更换这些灯管。与其花费一整天的时间来处理意外停机问题,不如花十分钟来更换灯管。
在洁净室中正常运行
我们还去掉了那些可能在使用初期就会蒸发的刺激性粘合剂或助熔剂。这样,真空环境或受控环境就能保持清洁。
一个实用的建议是:确保冷却风扇能够将热量从灯管的两端带走。如果连接器过热,或者玻璃面临极大的温度梯度,那么灯管就有可能破裂。只要保持低温,灯管就能正常工作。