如何更换RTP加热灯泡

生产线上，RTP腔体正排队待用。一盏灯开始闪烁，温度出现漂移，光刻胶烘烤工艺偏离设定。你看到线宽开始波动，同时调度压力加剧。我们设计的替换灯能够捕捉这种漂移，避免损失发生。 技术重点 我们选用短波卤素灯泡，配备针对快速热响应调校的近红外（NIR）输出。灯丝几何形状和石英包层设计经过优化，以确保整个...