佳能平版印刷用加热灯管

在光刻工序中，即使光阻烘烤时的温度偏差只有半度，也足以导致关键尺寸出现纳米级的误差。这样的偏差不仅会扰乱整个制造流程，还会让晶圆变成废品。因此，我们设计了佳能专用的光刻加热器，以确保其温度始终处于稳定范围内，从而避免任何偏差。 真正重要的因素是什么？ 该加热器采用石英外壳，内部装有卤素或近红外灯丝...