SRD (스핀 린스 드라이어) 적외선 램프

Fab 공정 현장에서 SRD 사이클은 수율이 결정되는 지점이자 조용히 손실되는 구간이다. 미세한 물방울을 남기는 린스나 웨이퍼에 스트레스를 가하는 건조 과정은 결함과 폐기물로 이어진다. Spin Rinse Dryer의 적외선 램프는 단순한 열원이 아니다. 건조 경계를...