フレキシブルエレクトロニクス用ウェーハヒーター

ライン上では、その柔軟性のあるエレクトロニクスウェーハが、線幅制御を実現するための適切な加熱処理を待っています。わずか数十分の一度の温度変動でも、フォトレジストの形状が変わってしまい、結果として製品に潜在的な欠陥が生じてしまいます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、専用のヒーターを開発...