フォトレジスト焼き付けランプ

リソグラフィフロアでは、素早く学ぶことになる。ソフトベークの温度が0.3℃ずれるだけでCDバイアスとして現れ、ハードベークの再現性が取れなければ、そのずれはすべてのウェーハに書き込まれる。フォトレジストのベーキングは単なる熱処理の形式ではない。プロセスの境界線である。ランプの性能が不足すれば、単に...