ウェーハ加熱の安全距離

リソグラフィフロアでは、300mmウェハ上に数千のダイが配置されており、熱予算に対して一秒たりとも無駄にできない。ソフトベイクで0.3°Cのずれが生じると、クリティカルディメンションが変動し、ハードベイクでエッジが過熱するとスカミングが発生し始める。ウェハ加熱の安全距離は余裕ではなく、歩留まりが低...