IR加熱装置をクラス100の基準に合致させるために 半導体製造工場やクラス100の清浄室で作業を行う際、熱は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、粒子です。 ほとんどの一般的な加熱要素は、こうした環境では役に立ちません。加熱や冷却の際に剥がれ落ちたり、ガスが発生したりするからです。これを防ぐために...

ファブの現場では、ご存知の通り、わずか数度の偏差であっても、フォトレジストの焼成プロファイルが変わってしまい、重要な寸法が規格から外れてしまいます。その結果、大量のワークが廃棄処分になってしまいます。ウェーハの熱制御は単なるパラメータに過ぎないわけではありません。それは、製品を良品にするか、不良品...