半導体製造工場における二酸化炭素削減：アルミニウム反射器のシンプルな力 半導体製造工場では、廃熱はまさに無駄なエネルギーです。IRヒーターを使ってウェーハを加熱したり処理したりするとき、目標地点に届かない放射エネルギーはすべて無駄になってしまいます。これこそがエネルギーの無駄遣いです。 そこで役立...

クラス100のクリーンルームで、汚染を避けつつ加熱処理を行うにはどうすればよいか？ クラス100のクリーンルームを運営している人なら、その重要性は重々理解しているでしょう。わずかなほこりや、ヒーターから飛び散る微細な破片だけでも、全体の製品の品質を台無しにしてしまいます。通常の抵抗式ヒーターでは、...

ウェーハの硬化処理を正しく行うためには、光の反射が鍵となります。 ウェーハを硬化させる際、単に「加熱する」というだけではありません。実際には、光子の流れをコントロールしているのです。 問題は、高出力の硬化ランプを使ったとき、その赤外線エネルギーの多くが基板から離れて逆方向に飛んでしまうことです。適...