もう、故障したヒーターのせいで作業が中断されることはありません。 ほとんどの工業用赤外線ヒーターは、1つの固形のブロックとして作られています。これは良いことですが、5年間使った後にヒーターの部品が壊れてしまうと、困ってしまいます。通常、その場合は、装置全体を分解したり、1つの部品を修理するためだけ...

リソグラフィフロアでは、300mmウェハ上に数千のダイが配置されており、熱予算に対して一秒たりとも無駄にできない。ソフトベイクで0.3°Cのずれが生じると、クリティカルディメンションが変動し、ハードベイクでエッジが過熱するとスカミングが発生し始める。ウェハ加熱の安全距離は余裕ではなく、歩留まりが低...