Verhindern Sie die Zerstörung der Wafer: Schützen Sie Ihre Wafer vor Ausfällen der Infrarotlampen
Seien wir ehrlich: Ein defekter Infrarotlamin in einer Fertigungsanlage ist nicht nur ein „Wartungsproblem“ – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Wenn eine Quarztube unter hoher Belastung versagt, geht es nicht nur um den verlorenen Glühkopf. Stattdessen fallen Glassplitter sowie Wolframfäden auf die Wafer herab. Dadurch kann ganze Chargen in Sekundenschnelle zerstört werden. Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man diesem Problem während des Trocknungsprozesses entgegenwirken kann.
Warum brechen diese Lampen eigentlich?
In der Regel liegt das an thermischen Schocks oder an abgenutzten Elektroden. In Anlagen mit hohen Belastungen schalten sich diese Lampen ständig ein und aus. Der Quarz dehnt sich aus, zieht sich wieder zusammen – und so weiter. Wenn die Glaswand nicht perfekt gleichmäßig ist, sammelt sich der Druck an einem bestimmten Punkt an – bis es schließlich zu einem Bruch kommt.
Lösungen:
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz mit sehr genau festgelegten Wanddicken. Dadurch wird die Wärme gleichmäßiger verteilt – dadurch muss die Tube nicht zerbrechen.
Zusätzliche Sicherheitsmaßnahmen:
Wir verlassen uns nicht nur auf die Stärke des Glases. Wir fügen eine weitere Schutzschicht hinzu. Wir umhüllen die Lampen mit einer speziellen Hülle, die zwar das Infrarotlicht durchlässt, aber die Trümmer darin hält. Es handelt sich dabei um eine Art „Sicherheitswindshield“. Wenn die innere Lampe versagt, halten die Trümmer in der Hülle – sie treffen somit nicht die Prozesskammer.
Außerdem verwenden wir Keramik-Metall-Dichtungen an den Enden der Tuben. Sie sind sehr widerstandsfähig. Selbst wenn der innere Gasdruck steigt, bleibt die Lampe intakt – sie explodiert nicht.
Kompromisse:
Aber es gibt auch Nachteile. Durch die Verwendung solcher Hüllen und Dichtungen wird die gesamte Konstruktion etwas größer. Sie sollten daher unbedingt prüfen, ob alles noch passt. Zudem nimmt die Schutzhülle etwas vom Infrarotlicht auf – in der Regel etwa 3 % bis 5 %. Das ist zwar kein großes Problem, aber Sie müssen möglicherweise die Leistungseinstellungen etwas erhöhen, damit die Trocknungsgeschwindigkeit weiterhin optimal bleibt.
Wir bauen diese Komponenten für den 24/7-Betrieb in echten Fertigungsanlagen. So erhalten Sie die benötigte Wärme – und können nachts beruhigt schlafen, da Ihre Wafer sicher sind.