Wie man einen Klasse-100-Reinraum wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Klasse-100-Reinraum betreiben, wissen Sie sicherlich schon, was zu tun ist. Es gibt keinen Platz für Fehler – schon ein winziger Staubkorn oder eine kleine Gaswolke kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Wafers unbrauchbar wird.
Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente nicht dafür geeignet sind. Sie zerfallen mit der Zeit, es entweichen VOCs – im Grunde handelt es sich dabei um „kleine Kanonen“, die Schadstoffe freisetzen. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: hochreine synthetische Quarzlampen.
Warum Quarz eigentlich wichtig ist
Die meisten Industrielampen verwenden „Standard-Quarz“. In einer normalen Fabrik ist das kein Problem. Doch in einem Reinraum? Jede Spur an Metallunreinheiten kann direkt auf das Substrat gelangen.
Wir verwenden geschmolzenen Siliziumdioxid – ohne jegliche Unreinheiten. Es zerfällt nicht, wenn es heiß wird, und wir reinigen die Lampen so gründlich, dass keine Rückstände auf der Oberfläche bleiben.
Außerdem nutzen diese Lampen Kurzwellen-Infrarotlicht. Dadurch erreicht das Licht das Substrat schneller als bei Langwellenlicht – somit ist die Aufwärmzeit deutlich kürzer. Das sorgt dafür, dass die Produktion weiterläuft.
Die Details der Konstruktion
Wir konzentrierten uns nicht nur auf das Glas selbst. Wir betrachteten auch die Stellen, an denen es oft zu Problemen kommt.
Wir verwenden goldbeschichtete oder spezielle Legierungselektroden. Warum? Weil Oxidation an den Kontaktpunkten ein großes Problem darstellt. Zudem werden die Elektroden mit Hochtemperatur-Leitungen verbunden – diese entwickeln keinen Rauch und verschlechtern sich auch nicht bereits beim ersten Gebrauch. Keine unerwarteten Probleme.
Ein Hinweis zur Einrichtung: Achten Sie auf die Wattdichte. Lampen mit hohem Energieverbrauch erzeugen viel Wärme – doch Sie müssen sicherstellen, dass Ihre Kühlsysteme mit dem Anstieg der Umgebungstemperatur zurechtkommen. Wenn die Belüftung schlecht ist, wird die Lampenhülle einfach überhitzen.
Einsatz in der Praxis
Diese Lampen eignen sich als Ersatz für die Prozesse des Trocknens oder Glühens.
Das Beste daran: Wir haben die organischen Bindemittel entfernt. Das bedeutet, dass es keine Phase gibt, in der die Lampe Partikel in die Luft abgibt. Sie erhalten somit stabile, gleichmäßige Wärme – ohne Angst vor Kontaminationen in der Produktionslinie.
Stellen Sie einfach sicher, dass die Stromversorgung die richtige Spannung liefert. Sonst wird der Filament bereits vor dem eigentlichen Betrieb zerstört.