Wie man die IR-Heizung auf das Niveau von Klasse 100 bringt
Wenn man in einer Halbleiterfabrik oder in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist Wärme zwar wichtig – doch das ist noch nicht alles. Das eigentliche Problem sind die Partikel.
Die meisten Standardheizelemente sind in solchen Umgebungen ein Albtraum. Sie neigen dazu, beim Erhitzen und Abkühlen abzublättern oder Gase abzugeben. Um zu verhindern, dass dies Ihre Arbeit ruiniert, verwenden wir Schutzhüllen aus hochreinem Quarzglas.
Warum Quarz?
Standardglas enthält viel Bor und Alkalien. Wenn es heiß wird, wandern diese Verunreinigungen in das Glas ein. Das ist nicht gut. Wir verwenden stattdessen gefördertes Siliziumdioxid. Es ist äußerst rein – dadurch bildet es eine feste Barriere zwischen dem Heizelement und der Werkstück. Keine metallischen Teilchen gelangen in den Arbeitsbereich. Nur reine Wärme.
Außerdem ist dieses Material sehr widerstandsfähig. Es kann den Stress durch schnelles Erhitzen und Abkühlen problemlos aushalten. Wenn man Hochleistungslampen verwendet, geht das Kurzwellen-Infrarotlicht einfach durch das Quarzglas hindurch. Es wird weder gefangen noch aufgenommen.
Design für maximale Sauberkeit
Wir haben alle Klebstoffe und organischen Bindemittel weggelassen. Warum? Weil diese Materialien verbrennen können. Dadurch entstehen „Geisterbilder“ oder seltsame chemische Rückstände auf den Wafern. Das möchte niemand.
Außerdem werden alle Kanten präzise geschliffen. Dadurch entstehen keine kleinen Risse, in denen sich Staub verbergen kann.
Ein weiterer Tipp: Überprüfen Sie die Befestigungselemente. Wenn diese beschädigt werden, ist alles vorbei. Verwenden Sie lieber Ausführungen aus Edelstahl oder PTFE. So bleibt die Schutzhülle intakt und Sie müssen sich nicht mit Quarzstaub herumschlagen.
Die Realitäten im Alltag
Denken Sie daran: Auch wenn hochreines Quarzglas chemisch inerte ist, bleibt es trotzdem Glas. Es kann thermischen Belastungen standhalten – doch wenn etwas darauf fällt, ist es kaputt.
Stellen Sie sicher, dass die Gehäuse so konstruiert sind, dass es keinen direkten Kontakt zwischen Metall und Glas gibt. Ein wenig Spielraum hilft dabei.
Noch eines: Selbst die besten Schutzhüllen sammeln im Laufe der Zeit oberflächliche Schichten an. Um eine hohe Übertragungsrate zu gewährleisten, sollten Sie regelmäßig die Schutzhüllen mit elektronikgerechtem IPA reinigen. So bleiben sie glänzend und funktionieren weiterhin einwandfrei.