别再等待加热器发挥作用了：为何红外线加热更有效
我仍然看到太多半导体生产线仍在使用热空气循环来加热材料。这是一种过时的方法，而且效率极低。
真正的问题在于等待时间过长。空气根本无法有效传递热量。你必须等待数分钟，直到基板达到合适的温度，而实际上，你是在试图先让整个房间变暖，这样部件才能感受到热量。这完全是浪费时间。
快速加热的秘诀
红外线加热则完全不同。它不需要依靠空气来传递热量，而是直接将能量传递到材料上。这就好比不用等待房间变暖，而是直接站在阳光下一样。这样一来，等待时间从几分钟缩短到了几秒。在批量生产时，这无疑是个巨大的优势。你不仅能节省电费，还能节省生产时间。
注意避免电线过热
不过，红外线加热器会产生极高温度，而且这种热量是高度集中的。如果你使用普通的PVC或硅胶电线，那可就麻烦了——它们很容易融化或释放出有害气体，而这在洁净室里是最不希望出现的。因此，我们建议使用涂有特氟龙涂层的电线。这种电线能够承受高温，而且不会受到蚀刻或沉积过程中产生的化学气体的影响。
需要权衡的方面
不过，红外线加热器也不是万能的。你不能简单地更换加热器就能解决问题。由于红外线加热需要直线传输，因此必须精心安排加热器的位置。如果位置不当，晶圆上就会出现冷点。此外，由于加热速度过快，如果升温过于迅速，还可能造成热冲击。因此，你需要一个可靠的PID控制器来防止温度超标。
如果你正在规划新的生产线，那么红外线加热无疑是最佳选择。它能消除热量传递的延迟问题。当然，一定要使用特氟龙涂层电线，这样才能避免六个月后出现电线损坏的情况。