Làm thế nào để đạt tiêu chuẩn Class 100 cho hệ thống sưởi IR
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn hoặc phòng sạch cấp Class 100, yếu tố nhiệt chỉ là một phần trong những điều cần lưu ý. Vấn đề thực sự nằm ở các hạt bụi.
Hầu hết các linh kiện sưởi thông thường đều gây ra nhiều vấn đề trong những môi trường này. Chúng có xu hướng bị vỡ hoặc giải phóng khí khi được làm nóng và làm nguội. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ làm từ thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao chọn thủy tinh thạch anh?
Thủy tinh thông thường chứa nhiều boron và chất kiềm. Khi bị làm nóng, những chất bẩn này sẽ di chuyển khắp nơi. Điều này rất tồi tệ.
Chúng tôi sử dụng thủy tinh silica thay thế. Loại thủy tinh này có độ tinh khiết cực cao, vì vậy nó có thể đóng vai trò như một bức tường vững chắc ngăn cách sợi dây sưởi với chi tiết cần xử lý. Không có chất kim loại nào có thể xâm nhập vào khu vực xử lý. Nhờ vậy, ánh sáng sưởi ấm sẽ không bị cản trở.
Ngoài ra, thủy tinh silica còn rất bền. Nó có thể chịu được áp lực do việc làm nóng và làm nguội nhanh mà không bị vỡ. Nếu bạn sử dụng bóng đèn công suất cao, bức xạ hồng ngoại sẽ đi qua thủy tinh thạch anh mà không bị giữ lại hay hấp thụ.
Thiết kế để tránh vấn đề bụi bẩn
Chúng tôi loại bỏ hoàn toàn các chất kết dính và chất hữu cơ khỏi thiết kế. Tại sao? Bởi vì những chất này sẽ bị đốt cháy, tạo ra các chất cặn hóa học trên bề mặt wafer. Không ai muốn điều đó xảy ra.
Chúng tôi cũng mài nhẵn từng cạnh của thủy tinh thạch anh. Điều này giúp loại bỏ các vết nứt nhỏ mà bụi có thể ẩn náu trong đó.
Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm tra các braket đỡ thiết bị. Nếu chúng bị hỏng, bạn sẽ gặp rắc rối. Hãy sử dụng các braket làm từ thép không gỉ hoặc PTFE. Điều này giúp tránh việc thủy tinh thạch anh bị trầy xước, từ đó tránh được việc phải đối phó với bụi thủy tinh.
Những trade-off trong thực tế
Cần lưu ý rằng, mặc dù thủy tinh thạch anh có tính chất hóa học ổn định, nhưng nó vẫn là thủy tinh. Nó có thể chịu được áp lực nhiệt, nhưng nếu có vật gì đó rơi xuống trên nó, nó sẽ bị vỡ.
Hãy đảm bảo rằng vỏ bọc bảo vệ thiết bị được thiết kế sao cho không có sự tiếp xúc trực tiếp giữa kim loại và thủy tinh. Việc tạo ra một khoảng cách nhỏ cũng rất quan trọng.
Cuối cùng, ngay cả những lớp bảo vệ tốt nhất cũng sẽ bị bám bụn theo thời gian. Để duy trì hiệu suất truyền ánh sáng, bạn nên định kỳ vệ sinh chúng bằng dung dịch IPA chất lượng cao. Như vậy, thủy tinh thạch anh sẽ luôn sáng bóng và hoạt động tốt.