Trong quy trình sản xuất, một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 1°C trong quá trình nung phim quang học cũng đủ để làm thay đổi độ dày của các đường kẻ trên wafer. Nếu quá trình sấy diễn ra không đều, điều đó sẽ gây ra những vấn đề nghiêm trọng ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Chúng tôi áp dụng hệ thống làm nóng theo từng khu vực trong các nhà máy sản xuất wafer hiện đại, nhằm loại bỏ những sai lệch nhiệt độ này ngay từ đầu.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng hệ thống kiểm soát nhiệt độ riêng biệt cho từng khu vực, bằng cách sử dụng tia halogen hoặc tia hồng ngoại. Chúng tôi giữ cho nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình sản xuất. Thiết bị được lắp đặt trong các phòng sạch cấp độ 1–100, nhằm tránh sự xuất hiện của các hạt bụi – điều này được kiểm tra thông qua việc giám sát trực tiếp và việc sử dụng các vật liệu có khả năng giảm lượng khí thải.
Độ lặp lại của quy trình được đảm bảo nhờ vào các cảm biến và hệ thống kiểm soát nhiệt độ chính xác. Các bước xử lý nhiệt diễn ra đều đặn từ lần này sang lần khác. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu: chỉ những khu vực cần được làm nóng mới được điều chỉnh nhiệt độ, và các thông số nhiệt độ được duy trì ổn định.
Tại sao điều này lại quan trọng?
Trong quy trình in ấn, việc kiểm soát nhiệt độ theo từng khu vực giúp duy trì độ ổn định của độ nhớt và cấu trúc lớp phủ trên wafer, từ đó giúp kiểm soát chính xác độ dày của các lớp vật liệu. Trong quy trình làm sạch và sấy wafer, việc kiểm soát nhiệt độ độc lập giúp loại bỏ các vết bẩn ở mép wafer và các vấn đề liên quan đến nước. Điều này giúp quá trình sấy diễn ra nhanh hơn mà không gây ra tình trạng sốc nhiệt. Trong quy trình đóng gói, việc kiểm soát nhiệt độ giúp quá trình đông cứng vật liệu diễn ra nhanh chóng và đều đặn. Kết quả là số lượng sản phẩm bị lỗi giảm đi, chất lượng sản phẩm được đảm bảo, và tốc độ sản xuất được kiểm soát tốt hơn.
Những điều bạn cần biết trước khi triển khai
Việc lắp đặt hệ thống kiểm soát nhiệt độ theo từng khu vực vào các dây chuyền hiện có đòi hỏi phải điều chỉnh lại cấu trúc của buồng xử lý, các thiết bị sử dụng trong quy trình, cũng như hệ thống thông gió. Bạn cần dành thời gian để tích hợp hệ thống này và tiến hành các bước calibrating cần thiết. Bạn sẽ phải hy sinh một chút diện tích sàn nhà để lắp đặt thêm các bộ điều khiển nhiệt độ và cảm biến. Tuy nhiên, kết quả thu được là khả năng kiểm soát nhiệt độ tốt hơn, từ đó giúp tăng hiệu suất sản xuất.