Ngừng việc làm nóng không khí: Cách hiệu quả hơn để xử lý nhiệt trong quy trình sản xuất bán dẫn
Hãy thừa nhận rằng các lò sưởi truyền thống thực chất chỉ là những chiếc “hộp khổng lồ” tiêu tốn rất nhiều năng lượng chỉ để làm nóng không khí, trong khi wafer vẫn chưa cảm nhận được sự thay đổi nào. Đó là cách làm kém hiệu quả.
Vì vậy, chúng ta chuyển sang sử dụng các đèn bức xạ hồng ngoại. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, chúng ta tập trung nhiệt lượng vào chính vị trí cần được làm nóng – tức là wafer. Đó là giải pháp đơn giản, nhưng lại mang lại hiệu quả lớn cho những ai muốn đạt được mục tiêu “Nhà máy xanh” mà không gây khó khăn cho các kỹ sư.
Sức mạnh của nhiệt bức xạ
Đặc điểm của đèn hồng ngoại là chúng không cần không khí để truyền nhiệt. Chúng sử dụng sóng điện từ để truyền nhiệt. Nói một cách đơn giản, nhiệt lượng được truyền đi gần như ngay lập tức. Khi sử dụng loại đèn này trong phòng sạch, bạn có thể tập trung toàn bộ năng lượng vào chính chi tiết cần được xử lý. Bạn không cần phải tiêu tốn năng lượng để làm nóng không gian xung quanh nữa. Nhờ vậy, lượng năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer giảm đáng kể.
Giữ cho môi trường sạch sẽ
Trong nhà máy sản xuất bán dẫn, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Chúng tôi hiểu điều này. Để duy trì môi trường sạch sẽ, chúng tôi sử dụng các vỏ đèn làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao. Nhờ đó, không có khí thải hay hạt bụi nào được thải ra. Chúng tôi cũng chọn những loại đèn có bước sóng ngắn, vì chúng có thể xuyên thủng vật liệu nhanh hơn và sâu hơn, giúp quy trình sản xuất diễn ra thuận lợi hơn.
Nhược điểm (vì luôn có nhược điểm)
Những bộ đèn công suất cao này mang lại hiệu quả tốt, nhưng chúng cũng gây ra một số vấn đề cho hệ thống làm mát. Nếu bạn lắp quá nhiều đèn trên một bảng điều khiển nhỏ, môi trường trong phòng sạch sẽ trở nên quá nóng. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống máy điều hòa không khí hoặc hệ thống làm mát bằng chất lỏng có thể xử lý được lượng nhiệt thải ra từ các đèn này. Đừng bỏ qua bước này, nếu không đội ngũ của bạn sẽ gặp rất nhiều khó khăn.
Kết luận về việc giảm lượng khí thải carbon
Việc chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại là một quyết định hợp lý. Bạn sẽ giảm được chi phí năng lượng trong quá trình sản xuất, từ đó giảm lượng khí thải carbon cho mỗi sản phẩm được sản xuất ra. Các loại đèn sưởi truyền thống thì không thể sánh kịp được. Chúng chậm chạp và kém hiệu quả. Trong khi đó, nhiệt bức xạ mang lại độ chính xác cao hơn, đồng thời tiêu thụ ít năng lượng hơn.