Trên bàn làm việc ẩm ướt, bước rửa sạch chính là lúc hiệu suất xử lý bị giảm sút. Nhiệt độ không đồng đều hoặc có điểm lạnh trong quá trình rửa sẽ khiến xuất hiện các vết nước, các hạt bám dính trên bề mặt wafer, cùng những tình trạng khác mà người ta khó có thể kiểm soát được. Điều cần thiết là có nguồn nhiệt ổn định, được điều khiển chính xác và không gây ra bất kỳ tác động tiêu cực nào.
Độ chính xác của việc sưởi ấm bằng tia hồng ngoại: Độ đồng đều và khả năng lặp lại ở mức dưới mili mét Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại chống nước, giúp tạo ra trường nhiệt ổn định với độ chính xác ở mức dưới mili mét. Nhờ đó, nhiệt độ của wafer luôn duy trì ở mức mong muốn, từ lần này sang lần khác. Tia hồng ngoại có bước sóng ngắn giúp làm nóng nhanh, với khối lượng nhiệt thấp; điều này giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác hơn. Các con số cho thấy mức độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C, và khả năng lặp lại cao giữa các lần xử lý khác nhau.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quá trình rửa sạch Quá trình sưởi ấm trong bước rửa sạch cần phải diễn ra trong môi trường sạch cấp độ 1–100. Bóng đèn không tạo ra bất kỳ hạt nào, và vỏ chống nước giúp bóng đèn hoạt động ổn địng ngay cả khi tiếp xúc với nước áp lực cao hoặc hóa chất. Nhờ đó, thời gian xử lý được rút ngắn, và việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt. Số lượng sản phẩm bị hỏng cũng giảm, và bề mặt wafer được làm khô một cách hiệu quả, giúp duy trì tính toàn vẹn của các hoa văn trên bề mặt wafer.
Hướng dẫn lắp đặt và vận hành Độ chính xác trong việc lắp đặt rất quan trọng. Hãy đảm bảo rằng chùm sáng của bóng đèn được căn chỉnh sao cho nằm trong phạm vi ±0,5 mm so với mặt phẳng của wafer, để đạt được mức độ đồng đều cao. Bóng đèn được thiết kế để hoạt động với nước đã được khử ion và các hóa chất thông thường. Tuy nhiên, với các dung dịch chứa nhiều clorua hoặc có tính ăn mòn cao, cần phải xem xét kỹ lưỡng về chất liệu của bóng đèn. Hãy thực hiện các cuộc kiểm tra định kỳ về cường độ và nhiệt độ của bóng đèn; ngay cả khi bóng đèn hoạt động ổn định, sự sai lệch trong đường truyền tín hiệu từ cảm biến vẫn có thể xảy ra, dẫn đến sự mất ổn định trong quá trình xử lý.