Trên sàn sản xuất, chu trình SRD là nơi mà hiệu suất được tạo ra—hoặc âm thầm hao hụt. Một quá trình rửa để lại các giọt nhỏ li ti, hoặc sấy làm tăng ứng suất trên wafer, sẽ biến thành khuyết tật và phế phẩm. Đèn hồng ngoại trên Spin Rinse Dryer của bạn không chỉ phát ra nhiệt. Nó là bộ kích nhiệt điều chỉnh ranh giới sấy khô. Nếu công suất đầu ra bị lệch hoặc độ đồng đều bị phá vỡ, độ lặp lại mà bạn dựa vào trong xử lý lithography và photoresist cũng sẽ mất đi.
Dưới đây là những gì chúng tôi thiết kế đèn hồng ngoại SRD dựa trên: các bóng phát NIR sóng ngắn trong vỏ thạch anh phản ứng nhanh, được điều chỉnh để đạt dải nhiệt nhanh và kiểm soát trạng thái ổn định chặt chẽ. Bạn sẽ có được độ đồng đều nhiệt độ trên wafer trong phạm vi ±0.1°C trên vùng sấy, cùng khả năng phục hồi dưới một giây sau các biến động do rửa. Bộ lắp ráp này được đánh giá phù hợp cho phòng sạch Class 1–100, sử dụng vật liệu ít phát thải khí và hình dạng thiết kế giảm thiểu việc rơi rụng hạt bụi. Công suất đầu ra duy trì trong phạm vi 1% suốt hơn 5.000 giờ, và phổ phát xạ được điều chỉnh phù hợp với hấp thụ của nước và màng bề mặt—do đó năng lượng tập trung vào quá trình bay hơi, không làm nóng wafer.
Trong SRD, đèn phải cung cấp nhiệt ổn định mà không làm ảnh hưởng đến động lực quay hoặc hóa chất rửa. Hồ sơ nhiệt của chúng tôi giữ wafer trong giới hạn nhiệt để ngăn photoresist bị chảy lại hoặc cấu trúc mẫu bị sập, đồng thời làm sạch nhanh các cặn rửa còn sót lại. Kết quả là giảm số lượng lô sản phẩm phải làm lại, kiểm soát kích thước quan trọng ổn định, và thời gian chu trình dễ dàng lên kế hoạch. Sử dụng năng lượng giảm vì đèn đạt điểm đặt nhanh và duy trì ổn định mà không vượt quá, tuổi thọ bóng phát dài giúp giảm thời gian bảo trì và tồn kho phụ tùng.
Hiệu suất đèn liên quan trực tiếp đến hình học buồng SRD và tốc độ quay. Chúng tôi điều chỉnh mẫu tiêu điểm của đèn phù hợp với quỹ đạo wafer, nhưng nếu bạn cải tiến công cụ SRD cũ, có thể cần điều chỉnh nhỏ về quang học hoặc tấm gắn. Lập kế hoạch lắp đặt phải tính đến luồng khí phòng sạch và tải nhiệt—đèn hoạt động ở nhiệt độ cao, và hệ thống hút khí tại chỗ phải được thiết kế để giữ ổn định nhiệt độ buồng. Khi đã căn chỉnh, bạn chỉ cần kiểm tra công suất định kỳ bằng pyrometer. Không cần hiệu chuẩn lại. Chỉ cần dữ liệu.