На производственных линиях изменение температуры во время обработки фотополимера на 1°C уже достаточно для того, чтобы изменить ширину линий на пластине. Неравномерный процесс сушки приводит к появлению «водяных знаков», что снижает качество продукции. В передовых производствах используется зональное нагревание для устранения таких отклонений.
Что действительно имеет значение с технической точки зрения
Мы используем независимое управление температурой в разных зонах с использованием галогенных или инфракрасных источников. Таким образом мы поддерживаем единообразие температуры на всей площади пластины в пределах ±0,1°C в течение всего процесса. Оборудование размещается в чистых комнатах класса 1–100, что исключает появление частиц; это подтверждается контролем на месте и использованием материалов с низким уровнем выбросов газов.
Повторяемость процесса сохраняется благодаря использованию датчиков с замкнутым циклом и контролю параметров процесса. Это позволяет обеспечивать стабильность температуры во всех зонах. Энергопотребление также снижается: нагревается только то, что необходимо, а профили температур остаются стабильными.
Почему это важно
В процессе литографии зональное нагревание позволяет поддерживать стабильную температуру при обработке фотополимера, что способствует стабильности его вязкости и свойств. Это также помогает контролировать размеры элементов на пластине. При очистке и сушке пластин независимое управление температурой в разных зонах помогает устранять неравномерности и «водяные знаки». Это позволяет ускорить процесс сушки без возникновения тепловых ударов. При упаковке зональное нагревание обеспечивает быстрое и равномерное затвердевание материалов, что сокращает время обработки и сохраняет качество соединений между компонентами. В результате снижается количество бракованных изделий, улучшается качество продукции, а также повышается производительность.
Что нужно знать заранее
Для внедрения зонального нагревания необходимо соответствовать геометрии камеры, типу кварцевых элементов и системам вентиляции. Необходимо выделить время на интеграцию оборудования и его калибровку. Необходимо также учитывать, что для установки дополнительных контроллеров и датчиков потребуется дополнительное пространство. Однако это приводит к лучшему контролю температуры и повышению производительности.