На производственной площадке даже небольшое изменение температуры в размере 0,1°C может привести к смещению критических размеров чипа на несколько нанометров. Это, в свою очередь, приводит к увеличению количества частиц на поверхности чипа. Обычные нагревательные устройства и конвекционные печи неспособны обеспечить стабильную температуру в процессе обработки чипов без появления проблем, связанных с выделением газов или повреждением поверхности чипа. Именно поэтому была создана сушильная установка с использованием длин волн ближнего инфракрасного излучения: для решения именно этих проблем.
Что важно с технической точки зрения: Устройство с длинами волн ближнего инфракрасного излучения нагревает сам чип, а не всю камеру. Это позволяет сохранять стабильную температуру на уровне ±0,1°C на всей площади чипа размером 300 мм. Время реагирования устройства составляет несколько секунд, а контроль над температурой очень точный. Профили покрытия чипа остаются стабильными даже при изменении объема партии продукции. Устройство разработано для использования в чистых помещениях класса 1–100; при этом не происходит образования частиц в месте контакта с чипом, а система вентиляции предотвращает попадание загрязнителей в зону обработки. Надежность устройства измеряется временем его работы — 24/7 без перерывов, а срок службы нагревателей значительно превышает обычный квартальный цикл замены.
Это устройство идеально подходит для литографии, так как позволяет обеспечить стабильную температуру в процессе обработки чипа, что необходимо для правильного удаления растворителей и формирования стабильного слоя покрытия. Благодаря использованию длин волн ближнего инфракрасного излучения достигается высокая точность контроля температуры, сокращается время обработки и снижается потребление энергии на единицу продукции. Это способствует снижению количества браков, улучшает контроль за размерами чипа и снижает количество отходов, возникающих из-за нестабильности температуры. Устройство также подходит для использования на современных процессорах, где температурный режим имеет большое значение.
Несколько практических рекомендаций перед выбором устройства: Для работы устройства необходим прямой видимый свет на чип, а также контролируемая отражаемость света. При этом необходимо учитывать геометрию расположения чипа, особенно если используются специальные коробки для хранения чипов, которые могут затенять луч света. Также необходимо использовать чистое питание с контролируемыми колебаниями напряжения, чтобы обеспечить стабильность спектра излучения. Если все эти условия соблюдены, устройство будет работать стабильно. Но этот шаг нельзя пропускать.