На производственной линии этот пластинчатый элемент гибкой электроники ожидает процедуры тепловой обработки, которая позволяет контролировать толщину слоя фоторезиста. Даже небольшое изменение температуры на несколько десятых градуса может привести к искажению структуры фоторезиста, что в свою очередь приводит к появлению скрытых дефектов. Мы разработали специальный нагреватель для таких пластинчатых элементов, чтобы устранить эту проблему.
Что важно при эксплуатации
Для нагрева используется коротковолновое инфракрасное излучение от кварцевого-галогенового источника; система управления обеспечивает однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость результата при каждой процедуре тепловой обработки составляет ±0,05°C, что гарантирует единообразие результатов. Зона нагрева разработана для использования в чистых помещениях класса 1–100; материалы и поверхностные обработки выбраны таким образом, чтобы избежать образования частиц во время работы. Процедуры мягкой и жесткой тепловой обработки осуществляются с строгим контролем температуры; система также записывает все параметры процесса для последующего анализа.
Почему это подходит для гибкой электроники
Эти подложки имеют малую толщину, хорошие тепловые характеристики, но при этом требуют точного контроля условий тепловой обработки. Стабильная и однородная температура обеспечивает равномерную толщину слоя фоторезиста, точный контроль критических размеров и снижение количества необходимых корректировок в процессе литографии. Быстрое достижение нужной температуры сокращает время простоя оборудования, а производительность сохраняется на высоком уровне. Потребление энергии соответствует тепловой массе пластины, что снижает затраты на производство одной пластины. Надежность оборудования означает его непрерывную работу без непланированных остановок и необходимости проведения технического обслуживания, что может нарушить график производства.
Что необходимо для правильной работы оборудования
Нагревателю требуется чистое и сухое питание, а также специальная система выпуска воздуха для поддержания стабильности мощности лампы и безопасного уровня температуры. Оборудование работает с стандартными интерфейсами, но если его устанавливать на более старые платформы, потребуется небольшая механическая и электрическая модернизация. Эту работу следует выполнять во время запланированного технического обслуживания – производство не должно нестись расходы из-за перерывов в работе.