На литографическом этаже вы знаете, как это бывает. Колебание температуры менее 1°C во время мягкого запекания может незаметно привести к ошибке ширины линии, которая проявляется только при метрологии. Тот же тепловой дрейф может превратить сушку пластин в проблему с частицами и дефектами. Мы создали Lab-on-a-Chip Drying Heater, чтобы остановить этот дрейф в самом начале.
Что важно с технической точки зрения
Платформа основана на коротковолновом инфракрасном излучении, обеспечиваемом массивом кварцево-галогенных излучателей. Пирометрия с замкнутым контуром поддерживает тепловую однородность на уровне пластин с точностью ±0,1°C по активной зоне. Повторяемость температуры от партии к партии составляет ±0,2°C, что обеспечивает стабильность профиля запекания фоторезиста.
Устройство готово к использованию в чистых помещениях классов 1–100: поверхности камеры из нержавеющей стали 316L, материалы с рейтингом FM4910 и ламинарный поток воздуха, который исключает генерацию частиц во время цикла. Нагреватель интегрируется с SECS/GEM и работает круглосуточно, среднее время наработки на отказ превышает 10 000 часов, срок службы излучателей более 5 000 часов.
Почему устройство эффективно именно в этом процессе
Данное устройство предназначено непосредственно для этапа сушки lab-on-a-chip — сразу после спин-ополаскивания и перед жестким запеканием. Оно сушит без повреждений, не оставляет остатков и сохраняет профиль фоторезиста, установленный во время мягкого запекания.
Это приводит к снижению количества доработок, стабильности критических размеров и прогнозируемости выхода годной продукции. Потребляемая мощность достаточно низкая, чтобы контролироваться на линии энергоснабжения, а компактные габариты позволяют размещать устройство рядом с покрывными и трековыми инструментами.
Что следует предусмотреть
Требуется выделенная линия питания 208–240 V, 16 A. Тепловая масса невелика, но при прогреве наблюдается высокий пиковый ток. Камера рассчитана на стандартные носители 150 mm и 200 mm; для 300 mm необходим комплект адаптеров для носителя.
Установка в чистом помещении занимает обычно два дня с проверкой воздуховода возвратного воздуха. Единственное ограничение: если скорость подъема температуры превышает 10°C/s, необходимо добавить короткую выдержку для стабилизации, чтобы сохранить однородность в пределах спецификации.