Het goed opdrogen van wafers: het gaat allemaal om de reflectie
Wanneer je wafers laat drogen, is het niet zomaar ‘verhitten’. Je beheerst eigenlijk een stroom van fotonen.
Het probleem is dat wanneer je een lamp met hoge vermogens inschakelt, een groot deel van die infrarode energie weer terug wordt gestuurd, weg van het substraat. Als er geen goede reflector is, verdwijnt al die energie gewoon in de lucht. Hierdoor wordt je werkplek een soort oven, moeten je koelsystemen harder werken en stijgt je elektriciteitsrekening. Het is verspilling.
Waarom we goud gebruiken
Je vraagt je misschien af waarom we gecapitonneerde reflectoren gebruiken in plaats van iets goedkopers zoals aluminium. Het heeft te maken met de fysica van licht. Goud is beter in staat om die specifieke lange- en midden golflengten infrarode stralen terug te kaatsen. Aluminium neemt juist te veel energie op. Goud doet dat niet. Hierdoor komt bijna elke watt die de lamp afgeeft terecht op het doeloppervlak.
Maar de coating is nog maar de helft van het verhaal. We besteden veel tijd aan de vorm van de reflector. Als je de geometrie goed regelt, kun je een onregelmatige lichtbron omzetten in een sterke, gerichte bundel. Hierdoor krijgt de wafer meer warmte, zonder dat je de spanning tot gevaarlijke niveaus hoeft op te drijven.
Het moeilijke deel
Hier wordt het meestal lastig. Het is belangrijk om de reflector perfect aan te passen aan de vorm van de lamp. Als het brandpunt zelfs maar een paar millimeter uit de richting is, ontstaan er hete plekken. Deze oneffen temperatuurverschillen kunnen de wafer beschadigen of ervoor zorgen dat de droging ongelijkmatig verloopt. Dat is frustrerend en kostbaar.
En nog een belangrijk punt: goud is gevoelig. Eén beetje stof of een vingerafdruk kan alles bederven. Olie op het oppervlak kan lokale oververhitting veroorzaken, waardoor de coating letterlijk kan wegbranden. Je moet deze onderdelen in een afgesloten behuizing of in een schone ruimte bewaren, als je wilt dat ze lang meegaan.
Wat dit betekent voor jouw dagelijkse werk
Als dit systeem goed werkt, merk je dat meteen. Je bereikt de gewenste temperaturen sneller. De cycli zijn korter. Bovendien kan je de vermogenswaarde vaak verlagen, terwijl je nog steeds dezelfde hoeveelheid warmte op het oppervlak krijgt. Dat is een grote winst voor je apparatuur. De lampdraadjes worden minder belast, waardoor ze minder snel kapotgaan. Minder stilstand, minder verspilling. Gewoon een proces dat echt zo werkt als het hoort te werken.