Op de productielijn is het belangrijk om precies te weten hoe alles werkt. Een verschil van zelfs maar een fractie van een graad in de temperatuur kan ertoe leiden dat de vereiste dimensies niet meer worden nageleefd, waardoor de hele productie beschadigd raakt. Thermocontrole van de wafer is geen gewone parameter – het is juist de sleutel tot het behalen van een hoge productiekwaliteit. Wij hebben onze infrarode kwartslampen zo ontworpen dat ze de gewenste temperatuur nauwkeurig kunnen behouden, zodat de energie precies op de juiste plek terechtkomt.
Wat technisch gezien belangrijk is, is eenvoudig: deze lampen maken gebruik van kortegolflengte-infrarood licht afkomstig van hoogzuiver kwarts, zodat de energie rechtstreeks in het doelgebied terechtkomt. Mindere thermische inertie betekent een snellere respons. De uniformiteit over de wafer blijft binnen ±0,1°C in het verlichte gebied, zodat de solventen gelijkmatig worden verwijderd en de fotoresist op de juiste manier wordt vastgezet. De prestaties blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in de prestaties. In schone ruimtes van klasse 1–100 zorgen het lage aantal deeltjes en de afgesloten constructie ervoor dat er geen uitgasing of contaminatie optreedt.
Dit maakt deze lampen uitermate geschikt voor lithografie en etching. Dezelfde lamp kan zowel voor zachte als harde behandelingen worden gebruikt, met een hoge mate van herhaalbaarheid. Hierdoor wordt herwerk nodig verminderd en wordt de kwaliteit van het product verbeterd. Het snelle opwarmen verkort de tijd die nodig is voor de behandeling, zodat de productiecapaciteit kan worden verhoogd zonder dat de maximale temperaturen te hoog worden. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte precies waar nodig terechtkomt. Er zijn ook minder onverwachte situaties, want de constructie van de lampen is stevig en de onderhoudsintervallen zijn voorspelbaar. Hierdoor blijft de productiecapaciteit constant.
Een paar praktische tips: bij de installatie is het belangrijk om de reflectoren goed te alignen en de koelwindrichting op orde te hebben. Als dit niet goed wordt gedaan, kunnen er lokale hete punten ontstaan en zal de uniformiteit afnemen. De lampen werken met de meeste standaardchucks en apparaten. Echter, als je ze wilt integreren in bestaande apparatuur, moet je rekening houden met kleine aanpassingen aan de thermische interface. Tijdens lange productiesessies is het belangrijk om regelmatig kalibraties uit te voeren, zodat de uniformiteit binnen ±0,1°C blijft.