건조 과정이 위험 요소가 되지 않도록 하세요
화학적 세척 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 위험한 상황에 처하게 됩니다. 가열 장치가 가연성이 있고 폭발성인 증기들 바로 중간에 위치해 있기 때문입니다.
일반적인 적외선 램프라면 절대 사용해서는 안 됩니다. 작은 스파크나 하우징의 미세한 균열만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 그래서 우리는 특수한 방식으로 적외선 램프를 제작합니다. 이를 통해 전기 부품들을 화학 물질로부터 분리시켜, 밤에도 안심하고 잠을 잘 수 있도록 합니다.
밀폐 구조와 재료에 대하여
우리는 고순도의 석영 유리를 사용하여 하우징을 만듭니다. 이 물질은 매우 견고하여 급격한 온도 변화에도 파손되지 않습니다.
하지만 진짜 핵심은 전극과의 접합부입니다. 우리는 특수한 방수형 유리-금속 접합구조를 사용합니다. 왜냐하면 휘발성 화학 물질들이 일반적인 밀폐 구조를 쉽게 파괴하기 때문입니다. 이렇게 함으로써 해로운 물질들이 들어오는 것을 막을 수 있습니다.
또한 배선도 중요합니다. 모든 부분을 프루오로폴리머로 감싸서 화학 물질로부터 보호합니다. 그래야만 부식성 세척제가 절연체를 파괴하여 단락이나 접지 오류가 발생하는 것을 막을 수 있습니다. 우리는 일반적인 접착제 대신 기계적 압력과 산업용 접착제를 사용하여 모든 부분을 단단히 고정합니다.
열과 속도, 그리고 그 균형
센서에 화학 물질이 달라붙는 것을 막으려면 고강도의 단파 적외선이 필요합니다. 웨이퍼를 빠르게 건조시켜야 합니다.
하지만 문제는, 이러한 고강도의 에너지가 마운팅 브라켓에서 많은 열을 발생시킨다는 것입니다. 따라서 쿨링 시스템을 잘 설계해야 합니다. 만약 하우징 주변의 공기 흐름이 부족하다면, 열로 인해 밀폐 구조가 파괴되고 램프의 수명도 줄어듭니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다.
작업 현장에서의 사용
3시간이나 걸리는 설치 과정은 받아들일 수 없습니다. 우리는 빠른 교체를 위해 이 제품들을 설계했습니다. 커넥터는 단단히 고정되어 있어, 세척 과정에서도 흔들리지 않습니다.
부탁드립니다. 배선할 때는 가스켓이 제대로 위치하는지 반드시 확인하세요. 만약 밀폐 구조가 제대로 되어 있지 않다면, 아무리 훌륭한 밀폐 구조라도 소용이 없습니다.
또한 크기도 작게 유지했습니다. 그래서 기존의 건조 장비에 쉽게 설치될 수 있습니다.