근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기

팹 내에서 웨이퍼의 온도가 0.1°C만 변해도, 그로 인해 웨이퍼의 치수가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 또한 이로 인해 입자 수도 증가하게 됩니다. 일반적인 가열판이나 대류 오븐은 부드러운 가열 과정이나 강력한 가열 과정에서도 온도를 일정하게 유지하는 데 어려...