왜 웨이퍼 가열기의 전기 안전에 그렇게 신경을 쓰는가?
실리콘을 다룰 때는 “충분히 안전하다”는 개념 자체가 없습니다. 약간의 전기 누설도 단순한 문제가 아닙니다. 그로 인해 전체 웨이퍼가 망가질 수 있으며, 시스템 전체가 작동하지 않을 수도 있습니다. 그래서 우리는 절대 위험을 감수하지 않습니다. 우리 공장에서 나가는 모든 가열 요소는 반드시 철저한 고전압 테스트와 절연 저항 테스트를 거쳐야 합니다.
보이지 않는 결함을 찾아내는 방법
우리는 고전압을 가하여 절연층에 스트레스를 주어 검사합니다. 보이지 않는 미세한 균열이나 구멍들을 찾아내는 것입니다.
만약 절연층이 너무 얇거나 결함이 있다면, 전류가 그 사이를 통과하게 됩니다. 이는 ‘파괴’ 상태이며, 그러면 해당 장비는 사용할 수 없게 됩니다.
일부 공장들은 한 배치에서 몇 개의 제품만 테스트합니다. 하지만 우리는 그렇게 하지 않습니다. 모든 제품을 테스트합니다. 왜냐하면 코팅에 있는 작은 구멍 하나만으로도 생산 라인에 연결하는 순간 단락이 발생할 수 있기 때문입니다.
“누설”의 위험성
높은 전압 외에도, 우리는 절연 저항도 확인합니다. 장비가 정상적으로 작동하기 위해서는 적절한 저항값이 필요합니다.
저항값이 너무 낮으면 전류가 누설됩니다. 클린룸에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 전자기 간섭(EMI)이 발생하여 신호가 손상될 수 있습니다. 최악의 경우, 장비의 케이스를 만진 사람에게 감전이 일어날 수도 있습니다. 누구에게나 좋지 않은 상황입니다.
균형을 맞추는 것
엄격한 기준을 적용하다 보면, 다른 공장에서는 통과할 수 있는 제품들까지 거부될 수 있습니다.
또한, 품질 검사 시 전압을 너무 높게 설정하면, 가열기가 고객에게 도착하기 전에 절연층이 손상될 위험이 있습니다. 이는 매우 섬세한 균형을 요구합니다. 우리는 안전한 수준의 전압을 설정하여 가열기의 수명이 단축되지 않도록 합니다.
“우연한” 고장은 용납될 수 없습니다
장비는 너무 비싸기 때문에 “우연한” 고장은 용납될 수 없습니다.
가열기가 고장 나는 것도 문제지만, 제어 보드가 손상되는 것은 치명적인 문제입니다. 모든 장비의 성능을 철저히 검사함으로써, 시스템의 안정성을 유지하고 직원들의 안전을 보장할 수 있습니다.