에피택시얼 가열용 적외선 램프

제조 현장에서는 포토레지스트를 소성시키거나 에피택시 공정을 진행할 때 발생하는 열 변동이 단순히 생산 속도에 영향을 미치는 것이 아닙니다. 이러한 열 변동은 제품의 수율을 크게 저하시킵니다. 따라서 공정 카드에 명시된 대로 정확한 위치에 열을 공급해 주어야 합니다....