더 이상 고장 난 히터 때문에 작업이 중단되는 일이 없도록 하세요. 대부분의 산업용 적외선 히터는 단일한 구조로 만들어집니다. 이는 좋은 점이지만, 5년 정도 사용한 후에는 가열 요소가 고장나버립니다. 그러면 문제가 생깁니다. 보통은 전체 장치를 분해하거나, 한 부품...

리소그래피 작업장에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 다이가 실리며, 매 순간이 열 예산에 영향을 미친다. 0.3°C만큼의 소프트 베이크 온도 변동도 크리티컬 치수를 변화시킬 수 있고, 가장자리에서 온도가 과도한 하드 베이크는 스커밍 현상을 초래한다. 웨이퍼 가열 시...