クラス100のクリーンルームで、汚染を避けつつ加熱処理を行うにはどうすればよいか？ クラス100のクリーンルームを運営している人なら、その重要性は重々理解しているでしょう。わずかなほこりや、ヒーターから飛び散る微細な破片だけでも、全体の製品の品質を台無しにしてしまいます。通常の抵抗式ヒーターでは、...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたツインチューブランプが効果的なのか 半導体ウエハーの加工において、エネルギーを無駄にすることは、実質的にお金を無駄にしていることに他なりません。もし熱がウエハーに届かず、チャンバーの壁に逃げてしまうなら、それは損失です。そこで役立つのが、金コーティン...