رساندن سیستم گرمایشی IR شما به استانداردهای کلاس ۱۰۰
وقتی که در یک کارخانه تولید نیمههادی یا اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، گرما تنها نیمی از مشکلات است؛ مشکل واقعی، وجود ذرات ناخواسته است.
این عناصر گرمایشی استاندارد، در چنین محیطهایی مشکلساز هستند؛ زیرا با گرم شدن و سرد شدن، تکهتکه میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، از سپرهای شیشهای با خلوص بالا استفاده میکنیم.
چرا کوارتز؟
شیشههای استاندارد حاوی بور و مواد قلیایی هستند؛ وقتی که دما بالا میرود، این ناخالصیها شروع به حرکت میکنند. این موضوع خوب نیست.
ما از سیلیکا مذاب استفاده میکنیم؛ این ماده بسیار خالص است و به عنوان یک دیوار محافظ بین فیلامنت گرمایشی و قطعه کار عمل میکند. هیچ ذره فلزی وارد منطقه کار نمیشود؛ فقط گرمای تمیز ایجاد میشود.
علاوه بر این، این ماده بسیار مقاوم است؛ میتواند تغییرات دمایی شدید را تحمل کند بدون اینکه ترک بخورد. اگر از لامپهای با توان بالا استفاده کنید، تشعشعات مادون قرمز از میان کوارتز عبور میکنند؛ این تشعشعات جذب نمیشوند.
طراحی برای عدم وجود آلودگی
ما کاملاً از چسبها و مواد الیافی استفاده نکردهایم؛ چرا؟ چون این مواد میسوزند و باعث ایجاد ذرات شیمیایی ناخواسته روی ویفرها میشوند. هیچ کس این را نمیخواهد.
همچنین، هر یک از لبهها را به دقت صیقل میدهیم؛ این کار باعث از بین رفتن ترکهای ریزی میشود که گرد و غبار در آنها پنهان میشود.
یک نکته مهم: حتماً قطعات محافظ را بررسی کنید؛ اگر از بین بروند، کار شما خراب خواهد شد. از پشتیبانهای فولاد ضدزنگ یا PTFE استفاده کنید؛ این کار از خراشیدگی سپرها جلوگیری میکند و شما را از مشکلات ناشی از گرد و غبار کوارتز نجات میدهد.
معایب واقعی
باید به یاد داشته باشید که اگرچه کوارتز با خلوص بالا از نظر شیمیایی بیتأثیر است، اما همچنان شیشه است؛ میتواند تحت تأثیر گرما قرار بگیرد، اما اگر چیزی روی آن بیفتد، از بین خواهد رفت.
مطمئن شوید که طراحی محفظه به گونهای باشد که هیچ تماس مستقیمی بین فلز و شیشه وجود نداشته باشد؛ کمی فاصله بسیار مهم است.
نکته آخر: حتی بهترین سپرها نیز با گذشت زمان دارای لایههای سطحی میشوند؛ برای حفظ نرخ انتقال حرارت، باید دورههای تمیزکاری را انجام دهید؛ این کار باعث میشود سپرها همچنان درخشان باقی بمانند و کار خود را ادامه دهند.