چرا از فرهای معمولی برای خشک کردن نیمههادیها استفاده نمیکنیم؟
برای مدت طولانی، خشک کردن و پختن نیمههادیها به معنای قرار دادن آنها در فرهای بزرگ بود. اما این روش در حال تغییر است؛ اکثر ما اکنون از سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. این کار صرفاً به دلیل رعایت استانداردهای زیستمحیطی یا قوانین مربوط به عدم استفاده از سرب نیست؛ بلکه روش قدیمی واقعاً هدردهنده انرژی است.
نکته مهم این است که امواج مادون قرمز باعث گرم شدن کل هوای اتاق نمیشوند؛ بلکه انرژی را مستقیماً به سمت سطح نیمههادی ارسال میکنند.
جادوی گرمای مستقیم
فکر کنید به یک فر معمولی؛ برای گرم کردن چند ویفر، باید کل فضای فر را گرم کنید. این کار، هدر دادن انرژی است.
اما با استفاده از لامپهای مادون قرمز، از تشعشعات الکترومغناطیسی استفاده میشود؛ این تشعشعات مستقیماً به سمت لایههای مورد نظر اعمال میشوند. به همین دلیل، میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید… نه دقایق!
این روش باعث کاهش هزینههای انرژی میشود و همچنین هوای اتاق را تمیز نگه میدارد. هیچ ضایعاتی ایجاد نمیشود؛ هیچ گاز سمیای وجود ندارد. این روش، دقیقاً مناسب فابریکهای مدرن است.
همه چیز به ساختار لامپها بستگی دارد
نمیتوانید فقط چند لامپ را در یک جعبه قرار دهید و فکر کنید که کار تمام شده است. اگر در یک اتاق تمیز کار میکنید، ساختار لامپها بسیار مهم است.
ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون اگر ساخت لامپها به درستی انجام نشود، گازهای سمی یا ذرات ریزی در محیط ایجاد میشود. حتی یک ذره گرد و غبار در جای نامناسب، میتواند باعث خراب شدن کل محصولات شود.
برای تأمین گرما، معمولاً از لامپهای کوارتز-هالوژن استفاده میکنیم؛ این لامپها قدرتمند هستند، اندازه کوچکی دارند و تقریباً بلافاصله گرما تولید میکنند.
بخش دشوار
البته، امواج مادون قرمز سریع هستند؛ اما میتوانند ناپایدار باشند.
اگر زاویه بازتابندههای لامپ کمی اشتباه باشد، نقاط گرم خاصی ایجاد میشود. نمیتوانید فقط لامپها را در کنار هم قرار دهید؛ باید فاصله و زاویه لامپها را تنظیم کنید تا گرما به طور یکنواخت در سطح ویفر پخش شود.
اگر این کار را درست انجام ندهید، ویفر دچار تغییر شکل میشود یا به طور ناهموار پخته میشود. این موضوع مشکلات زیادی ایجاد میکند. به همین دلیل، ما از سیستمهای کنترل دقیق PID برای کنترل لامپها استفاده میکنیم؛ باید مراقب باشید که دما بیش از حد نشود، وگرنه سطح نیمههادی خراب خواهد شد.