Správné nastavení teploty waferu v chytré továrně
Pokud budujete chytrou továrnu, pravděpodobně už víte, že čekat, až se něco pokazí, než to opravíte, je noční můra. Potřebujete vidět, co se děje právě teď. Právě zde přicházejí na řadu infračervené systémy. Používáme je proto, že nám umožňují zmapovat teplotu na povrchu waferu, aniž bychom ho museli vůbec dotknout. Žádný kontakt, žádné kontaminace. Jednoduché.
Proč je bezkontaktní měření opravdu důležité
Vzpomeňte si na starý způsob – termoparity. Ty musí dosahovat kontaktu s povrchem, což přináší spoustu problémů. Riskujete mechanické napětí, nebo dokonce to, že na povrch waferu dopadne nějaká částice.
S infračervenou pyrometrií prostě „sledujeme“ tepelnou radiaci vycházející z waferu. Je to čistší řešení. Tyto senzory vysílají signály, které lze přímo spojit s vaším systémem PLC nebo SCADA. Najednou máte aktuální mapu teploty. Je to jediný skutečný způsob, jak odhalit ty otravné „studené body“ během rychlého tepelného zpracování.
Jak udělat z údajů skutečně užitečné informace
Senzor sám o sobě je jen kus hardwaru. Skutečná magie spočívá v tom, jak ho připojit k vaší databázové vrstvě.
Tyto infračervené systémy jsme navrhli tak, aby byly odolné. Víme, že prostředí používané při procesech jako leptání nebo CVD je plné rušivých vlivů – veškeré elektromagnetické rušení ze generátorů RF může narušit vaše signály. Ale jakmile převodíme tu tepelnou energii na digitální data, můžeme vytvořit zpětnovazební smyčku, která opravdu funguje. Pokud se teplota změní i o 2 °C, systém to okamžitě zachytí a upraví napájení. Ani nemusíte mrknout.
Realita
Všechno samozřejmě není dokonalé. Existují určité kompromisy.
Infračervené senzory jsou citlivé na emisivitu. Pokud změníte povlak waferu nebo pokud se plyn v komoře začne vířit, vaše měření se budou měnit. Budete muset strávit nějaký čas kalibrací nastavení softwaru, jinak budete pracovat s nesprávnými údaji.
A ještě jedna věc: udržujte okna čistá. Pokud se na kvartovém portu nahromadí nečistoty, signál bude blokován. Váš tepelný profil se zkreslí a budete znovu od začátku. Udržujte sklo čisté a budete v pořádku.