Správné vysoušení waferů: Jde o odraz světla
Při vysoušení waferů se nejedná jen o „zahřívání“. Ve skutečnosti řídíte tok fotonů.
Problém spočívá v tom, že když zapnete vysokovýkonovou lampu na vysoušení, velká část této infračervené energie se odráží zpět, pryč od vašeho substrátu. Pokud nemáte dostatečný odrazník, veškerá ta energie prostě zmizí do vzduchu. To promění váš pracovní prostor v troubu, způsobí nadměrné zatížení chladicích systémů a zvýší vaše náklady na elektřinu. Je to plýtvání.
Proč používáme zlato
Možná se divíte, proč používáme odrazníky potažené zlatem místo něčeho levnějšího, jako je hliník. Je to dáno fyzikou světla. Zlato dokáže lépe odrážet ty specifické dlouhovlnné a střednovlnné infračervené paprsky. Hliník naopak pohlcuje příliš mnoho energie. Zlato to neudělá – zajistí tak, aby téměř každý watt energie vydávané lampou skutečně dopadl na cíl.
Ale povrchová úprava je jen polovina úspěchu. Velmi dbáme na tvar odrazníku. Pokud zvolíte správnou geometrii, můžete z nepřesného zdroje světla vytvořit precizní, směrový paprsek. Tím dosáhnete vyšší teploty na waferu, aniž byste museli zvyšovat napětí na nebezpečné úrovně.
Složitá část
Právě zde věci obvykle začínají být složité. Přizpůsobení odrazníku velikosti lampy je velmi náročné. Pokud je ohniskový bod i o pár milimetrů mimo správnou pozici, vzniknou „horké body“. Tyto nerovnoměrné teplotní výkyvy mohou poškodit wafer nebo způsobit nerovnoměrné vysoušení. Je to frustrující a zároveň nákladné.
A ještě jedna důležitá poznámka: zlato je náročné. Trocha prachu nebo otisk prstu může všechno zkazit. Olej na povrchu způsobuje lokální přehřátí, což může doslova spálit povrchovou úpravu. Abyste dosáhli trvalého efektu, musíte tyto věci udržovat v uzavřené nádobě nebo v čisté místnosti.
Co to znamená pro vaši práci
Když tento systém opravdu funguje, poznáte to. Dosáhnete požadovaných teplot rychleji. Cykly vysoušení se zkrátí. Navíc, protože energie je tak soustředěná, můžete často snížit výkon lampy a přesto dosáhnout stejné teploty na povrchu. To je obrovská výhoda pro vaše zařízení. Filamenty lampy nejsou tak zatěžovány, takže se tak často nezhotovují. Méně přestávek. Méně plýtvání. Prostě proces, který skutečně funguje tak, jak má.