Proč se tak zabýváme bezpečností při použití ohřívačů waferů
Při práci se křemíkem neexistuje nic jako „dostatečně blízko“. I malý únik elektrického proudu není jen drobná závada – může zničit celou sérii waferů nebo způsobit selhání celého systému. Proto nechceme riskovat. Každý ohřívací prvek, který opouští naši továrnu, prochází důkladnou zkouškou na odolnost vůči vysokému napětí a odporu izolační vrstvy.
Hledání toho neviditelného
Zde je náš postup: testujeme izolační vrstvu pomocí vysokonapěťového tlaku. Hledáme věci, které nelze vidět – mikroskopické trhliny nebo drobné dutiny v materiálu.
Pokud je izolace příliš tenká nebo má vadu, proud projde přímo skrz ni. Jedná se o selhání, což znamená, že daný produkt je nepoužitelný.
Některé firmy testují pouze několik kusů z celé série. My to tak neděláme. Testujeme každý jednotlivý kus. Proč? Protože stačí jedna trhlina v povrchové úpravě k tomu, aby došlo k zkratu ve chvíli, kdy se zařízení zapojí do výrobní linky.
Nebezpečí „úniku“ proudu
Kromě velkých výkyvů napětí kontrolujeme také odpor izolace. Hledáme hodnoty v megaohmách, které vyžaduje naše zařízení.
Pokud je odpor příliš nízký, proud uniká. V čisté místnosti to představuje noční můru – může to způsobit elektromagnetické rušení, které naruší signály. V nejhorším případě může toto rušení dokonce způsobit úraz operátora, který se dotkne čelní strany zařízení. To rozhodně není dobrý den pro nikoho.
Balancování rizik
Přísné požadavky samozřejmě přinášejí své výzvy. Nakonec musíme odmítnout zařízení, která by v méně přísných laboratořích možná „projdla“.
Existuje také složitý kompromis: pokud během kontroly použijeme příliš vysoké napětí, riskujeme opotřebení izolace ještě předtím, než zařízení dorazí k vám. Je to tenká hranice. Snažíme se nastavit napětí tak, aby bylo bezpečné, ale zároveň neubíralo na životnosti zařízení.
Žádné místo na „náhodné“ selhání
Vaše zařízení je příliš cenné na to, abychom museli řešit „náhodné“ selhání.
Když se ohřívač spálí, je to otrava. Ale když eléktromagnetický oblouk poškodí řídicí desku? To je katastrofa. Tím, že kontrolujeme pevnost každého jednotlivého zařízení, zajistíme, že váš systém zůstane stabilní a vaši pracovníci budou v bezpečí.