V provozu továrny stačí změna teploty během procesu zpracování fotorezistu o 1 °C k tomu, aby se změnily šířky prvků na destičce. Nekonzistentní proces sušení? To je příčina vzniku „vodních stop“, které zhoršují kvalitu výrobku. V pokročilých továrnách na výrobu čipů používáme zónové ohřevy, abychom eliminovali tyto odchylky hned od začátku procesu.
Co je vlastně důležité z technického hlediska
Používáme nezávislou kontrolu jednotlivých zón pomocí halogenu nebo infračerveného záření. Udržujeme konzistentnost teploty na úrovni destičky v rozmezí ±0,1 °C po celou dobu procesu. Hardware se nachází v čistých místnostech třídy 1–100, bez přidávání částic – to je ověřeno prostřednictvím monitorování v reálném čase a výběrem materiálů s nízkou mírou uvolňování plynů.
Opakovatelnost procesu je zajištěna díky senzorům v uzavřeném obvodu a kontrole parametrů procesu – takže vše probíhá stejně v každé směně. Spotřeba energie se také snižuje: zóny ohřívají pouze to, co je potřeba, a profile teplot se opakují bez nadměrných výkyvů.
Proč je to důležité
V litografii zónový ohřev udržuje teplotu během zpracování fotorezistu stabilní, takže viskozita a profily povlaku zůstávají konzistentní. Při čištění a sušení destiček eliminuje nezávislá kontrola teploty okraje destičky a „vodní stopy“. Díky tomu dochází k rychlejšímu sušení bez tepelného šoku.
Při balení umožňuje rychlé a rovnoměrné zasychání materiálů – doba cyklu se zkracuje, přitom zůstává zachována adheze a kvalita výrobku. Výsledkem je méně odpadu, stabilní parametry výroby a možnost plánování kapacity výroby.
Co potřebujete vědět předem
Převod zónového ohřevu do existujících systémů znamená úpravu geometrie komory, Quartzových konstrukcí a systémů odvodu vzduchu. Je potřeba vyhradit čas na integraci a kalibraci.
Výměnou za další kontroléry a senzory ztratíte trochu prostoru v provozu. Výsledkem je však lepší kontrola teploty v celé linii a delší doba provozu.