防止碎片飞溅：保护晶圆免受灯管故障的伤害 说实话，当制造厂中的红外灯管发生故障时，那可不仅仅是“维护上的麻烦”而已，那简直就是一场噩梦。 当石英管在高压环境下失效时，你失去的不仅仅是一个灯管而已。玻璃碎片和钨丝会四处飞溅，直接砸到晶圆上。这样一来，整批晶圆都可能在几秒钟内被毁掉。我们花了大量时间来...

切勿让干燥过程变成隐患 在化学清洗后对MEMS传感器芯片进行干燥处理时，其实是在冒险。因为加热元件就位于易燃易爆的蒸汽之中。 普通的红外灯可不行——哪怕有那么一点火花或外壳出现裂纹，都可能引发灾难。因此，我们会使用特殊封装技术来保护这些红外灯的电气部件，这样就能确保设备的安全运行。 封装与材料的细...

在光刻车间，大家都清楚流程。软烘过程中亚1℃的温度波动可能悄无声息地导致线宽误差，这种误差只有在计量阶段才能显现。同样的热漂移会使晶圆干燥阶段出现颗粒和缺陷问题。我们开发了Lab-on-a-Chip干燥加热器，旨在从源头遏制这种漂移。 技术要点 该设备基于短波红外技术，由石英卤素发射器阵列驱动。闭...