반도체 제품을 가열하는 더 스마트한 방법
대부분의 반도체 글로브박스는 여전히 기존의 방식을 사용하고 있습니다. 즉, 대류나 저항 가열 방식을 사용하는데, 이 방식은 박스 내부의 공기를 모두 따뜻하게 만들기 위해 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 단파 적외선을 활용하는 것입니다. 적외선은 공기와 싸우는 대신 직접 작업물을 가열합니다. 마치 집 전체를 난방하여 손만 따뜻하게 하는 것과, 단순히 히팅 패드를 사용하는 것의 차이와 같습니다. 필요한 부분만 가열하기 때문에 훨씬 적은 에너지가 필요합니다.
속도의 중요성
글로브박스에 사용할 부품을 선택할 때는 열 전달률이 중요합니다. 즉, 1제곱센티미터당 얼마나 많은 열이 전달되는지가 중요한 것입니다. 고출력의 적외선 램프를 사용하면 빠르게 온도가 상승합니다. 몇 분이 아니라 몇 초 만에 가능합니다. 그러므로 도구들이 올바른 온도에 도달할 때까지 계속 전력을 소모하지 않습니다.
재료에 관한 세부 사항
우리는 방출 스펙트럼을 조절하기 위해 특수 코팅 처리된 석영 커버를 사용합니다. 단파 적외선은 재료 깊숙이 들어가기 때문에, 청정실에서 사용되는 기판에 매우 적합합니다. 또한 하드웨어도 중요합니다. R7s를 사용하든 산업용 핀을 사용하든, 부품이 고장났을 때 빠르게 교체할 수 있는 것이 좋습니다. 만약 부식성 가스나 높은 습도 환경에서 작업한다면, 금 도금된 컨택트를 사용하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 산화가 발생하여 전기 저항에 문제가 생기는 것을 방지할 수 있습니다.
타협점
완벽한 것은 없습니다. 적외선을 사용하면 지구와 전기 요금 면에서 유리하지만, 적외선은 방향성이 있습니다. 즉, 광선 형태이지 구름 형태가 아닙니다. 만약 글로브박스의 내부 구조가 복잡하다면, 그냥 램프를 넣어두기만 해서는 안 됩니다. 정확한 위치에 설치해야만 합니다. 그렇지 않으면 차가운 부분이 생길 수 있습니다. 또한, 와트수를 너무 높이 설정하지 않도록 주의해야 합니다. 적절한 보호 장치 없이 와트수를 너무 높이 설정하면 폴리머 창문이 녹거나 밀봉 부분이 손상될 수 있습니다. 결국, 열량과 장비가 감당할 수 있는 수준 사이의 적절한 균형을 찾는 것이 중요합니다.