近赤外線 NIR ウェーハ乾燥装置
ファブの現場では、ウェーハ上での温度変動が0.1°Cでもあれば、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子数も増加してしまいます。通常のホットプレートや対流式オーブンでは、ソフトベイクやハードベイクの過程で温度の均一性を保つのが難しく、ガス放出やレジストの表面問題が発生しやすくな...
ウェーハ用赤外線クォーツランプ
ファブの現場では、ご存知の通り、わずか数度の偏差であっても、フォトレジストの焼成プロファイルが変わってしまい、重要な寸法が規格から外れてしまいます。その結果、大量のワークが廃棄処分になってしまいます。ウェーハの熱制御は単なるパラメータに過ぎないわけではありません。それは、製品を良品にするか、不良品...
ルームヒーター
冬に冷たいバスルームの床に足を踏み入れると、単に不快なだけでなく、まるで衝撃を受けたような感覚になります。従来のヒーターは空気を温めるため、時間がかかります。しかし、CE認定を受けた赤外線ヒーターなら、スイッチを入れるとすぐに暖かさを感じることができます。なぜなら、熱は空気を通過せず、直接体に届く...
過熱保護ヒーター
最初の寒波が襲ってくると、暖かさは贅沢品ではなく、みんなが快適に過ごし、その空間を楽しむために不可欠なものです。赤外線ヒーターは、必要な場所に直接暖かさを届けてくれるので、風が吹き抜けるテラスや寒い部屋も、人々が集まりたくなる場所に変わります。しかし、ヒーターが信頼できるものでなければ、快適さは得...
フレキシブルエレクトロニクス用ウェーハヒーター
ライン上では、その柔軟性のあるエレクトロニクスウェーハが、線幅制御を実現するための適切な加熱処理を待っています。わずか数十分の一度の温度変動でも、フォトレジストの形状が変わってしまい、結果として製品に潜在的な欠陥が生じてしまいます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、専用のヒーターを開発...
電気ヒーター
夕方になって空気が冷え込むと、屋外スペースを使えなくしてしまうのは望ましくありません。暖かさもなく、雰囲気も悪くなり、みんながジャケットを着る羽目になります。電動ヒーターなら、すぐに赤外線による暖かさを提供してくれるため、寒いパティオもすぐに快適に使える場所になります。私たちは、シンプルな目標を持...
すすぎ用防水赤外線ランプ
湿ったベンチ上では、洗浄工程で収率が静かに低下してしまいます。洗浄時の低温や温度の不均一さが原因で、水滴や粒子が残ったり、制御不可能なストレスが生じたりします。必要なのは、再現性があり、局所的に加熱でき、かつクリーンな熱源です。
赤外線加熱の精度：サブミリメートル級の均一性と再現性 私たちは、サブ...
ウェーハレベルCSP チップスケールパッケージ ヒーター
製造現場において、歩留まりはしばしば温度に依存します。フォトレジストを焼成する際にわずか0.5度の誤差が生じるだけで、エッチングや堆積工程を経ても残る線幅の誤差が生じます。ウェーハレベルのCSPでは、同じ熱制御がアンダーフィルの硬化やはんだの再溶融にも適用されます。必要なのは、熱源が繰り返し動作し...
タイルヒーターの下
冬が来て、人々を家の中に閉じ込めると、問題は単にサーモスタットだけではありません。電気代もかなり高くなります。電気式のヒーターは、部屋のドアが開くたびに温まるのに時間がかかり、回復するのも遅いです。温度計では部屋が暖かく見えても、足元は依然として冷たく感じられ、結局は無駄にお金を支払ってしまいます...
省エネヒーター
工場のフロアでは、重要な許容差は設計図に示されたものではなく、熱が当たった瞬間に感じるものです。私たちは、この赤外線ヒーターのプログラムを、金メッキ層の厚さを0.1mm以内に保つという頑固な目標で始めました。なぜこれが重要なのかというと、放射出力と長期的な効率はその狭い範囲に依存しているからです。...
安価な電気ヒーター
冬は静かに訪れ、寒い床、こわばった肩、長く感じる夜がやってきます。空気が乾燥すると、部屋が暖まるのを待つ時間は、ただ失われる時間のように感じられます。私たちは、この手頃な価格の赤外線電気ヒーターを開発し、待つことなく、スイッチを入れた瞬間に必要な場所に熱を届け、寒い空間を実際に居心地の良い場所に変...
静かなファンヒーター
冬の寒いバスルームの床に足を踏み入れることは、単に不快なだけでなく、あなたの一日の始まりを台無しにする衝撃です。従来のヒーターが空気を温めるのを待つ間、タオルや蒸気の中で震える必要があります。私たちは、CE認証を取得した赤外線ヒーティングランプを開発し、スイッチを入れた瞬間から放射する暖かさを提供...
業務用電気ヒーター
ホットヨガスタジオに入るとすぐに感じられるのは、清潔で安定した均一な暖かさである。赤外線の熱が一定であれば、利用者は寒さを感じることなくポーズに集中できる。呼吸は安定し、部屋は練習を妨げるどころかサポートする環境となる。もし熱が変動すればリズムが崩れ、セッション全体の質が低下する。
技術的に重要な...
RTPヒーターランプの交換方法
ライン上にRTPチャンバーが待機しています。1つのランプが点滅し始め、温度が変動し、フォトレジストの焼成が計画から外れます。ライン幅が揺らぎ始めるのを見ながら、スケジューラーは厳しくなります。私たちは、このドリフトを捉えるために交換用ランプを設計しました。
技術的に重要なこと
私たちは、迅速な熱応...
放射パネルヒーター
寒い朝、空気が抵抗します。外に出ると、熱がない状態は一秒一秒ずつ引き延ばされます—ラジエントパネルが作動するまで。赤外線の温もりはすぐに感じられ、空っぽの空気ではなく、表面や人々に直接届きます。その最初の一瞬は単なる快適さではなく、エネルギーの迅速なリセットで、日常生活を実行可能に感じさせる小さな...